| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 纳米颗粒包覆技术简介 | 第9-10页 |
| 1.3 原子层沉积技术原理及应用 | 第10-11页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 基于欧拉两相流的颗粒流化床模拟计算 | 第13-23页 |
| 2.1 原子层沉积设备简介 | 第13-14页 |
| 2.2 纳米颗粒的流化原理 | 第14-16页 |
| 2.3 基于欧拉两相流的流化床模型 | 第16-20页 |
| 2.4 实验仿真验证 | 第20-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 粉体原子层沉积系统的设计 | 第23-43页 |
| 3.1 传热模型的简介 | 第23-26页 |
| 3.2 反应腔体结构设计与温度仿真 | 第26-28页 |
| 3.3 粉体原子层沉积温度控制系统的设计 | 第28-38页 |
| 3.4 系统相关性能验证 | 第38-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 纳米铝粉表面钝化研究 | 第43-61页 |
| 4.1 纳米铝粉的研究意义 | 第43-44页 |
| 4.2 纳米铝粉钝化效果测试条件及表征手段 | 第44-47页 |
| 4.3 氧化铝薄膜表面钝化纳米铝颗粒样品制备及表面钝化效果研究 | 第47-51页 |
| 4.4 纳米铝粉包覆氧化锆薄膜样品制备及表面钝化效果研究 | 第51-53页 |
| 4.5 两种薄膜失效机理的探究 | 第53-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 设备及钝化薄膜的展望 | 第61-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第61页 |
| 5.2 展望 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文与专利 | 第71页 |