| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-13页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3 MEMS技术概述 | 第18-19页 |
| 1.4 本文的研究目的及内容 | 第19-21页 |
| 第二章 压电材料的压电性能 | 第21-28页 |
| 2.1 压电陶瓷的压电效应 | 第21-26页 |
| 2.2 压电驱动器 | 第26页 |
| 2.3 压电陶瓷材料 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 压电驱动器的设计与仿真 | 第28-35页 |
| 3.1 结构设计 | 第28-29页 |
| 3.2 模态分析 | 第29-32页 |
| 3.3 尖端位移分析 | 第32-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 悬臂梁式压电驱动器的制备 | 第35-45页 |
| 4.1 硅片的切割工艺 | 第36页 |
| 4.2 PZT与Si的键合工艺 | 第36-40页 |
| 4.3 压电陶瓷的减薄 | 第40页 |
| 4.4 压电陶瓷厚膜的图案化 | 第40-41页 |
| 4.5 硅的湿法刻蚀工艺 | 第41-42页 |
| 4.6 硅基压电陶瓷悬臂梁的制备 | 第42-43页 |
| 4.7 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 悬臂梁式压电驱动器的测试 | 第45-51页 |
| 5.1 微压电驱动器未负重情况下的电压-位移测试 | 第45-46页 |
| 5.2 微压电驱动器负重情况下的测试 | 第46-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 压电驱动控制算法与仿真 | 第51-66页 |
| 6.1 Preisach模型 | 第52-55页 |
| 6.2 前馈补偿控制器 | 第55-56页 |
| 6.3 闭环反馈控制 | 第56-57页 |
| 6.4 带前馈补偿的PID控制 | 第57-58页 |
| 6.5 带前馈补偿的模糊PID控制 | 第58-59页 |
| 6.6 采用带前馈补偿的PID控制算法和模糊PID算法的控制仿真 | 第59-64页 |
| 6.7 本章小结 | 第64-66页 |
| 第七章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |