太阳能级多晶硅制备成品率提高方法的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 多晶硅行业市场调查 | 第13-16页 |
| 1.3.1 多晶硅行业发展景气度较高 | 第13页 |
| 1.3.2 国际多晶硅企业竞争情况 | 第13-14页 |
| 1.3.3 国内多晶硅企业竞争情况 | 第14页 |
| 1.3.4 我国多晶硅行业发展政策 | 第14-16页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 多晶硅的相关理论与生产流程 | 第17-26页 |
| 2.1 多晶硅太阳能电池的工作原理 | 第17-19页 |
| 2.2 多晶硅的物理、化学性质 | 第19页 |
| 2.3 铸造多晶硅锭的主要参数及检测方法 | 第19-22页 |
| 2.3.1 导电类型 | 第19-20页 |
| 2.3.2 电阻率 | 第20-21页 |
| 2.3.3 少子寿命 | 第21-22页 |
| 2.4 生产流程 | 第22-25页 |
| 2.4.1 工业硅制备过程 | 第22页 |
| 2.4.2 破碎和酸洗 | 第22-23页 |
| 2.4.3 电子束熔炼 | 第23-24页 |
| 2.4.4 定向凝固 | 第24-25页 |
| 2.4.5 精整、截断和切片 | 第25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 定向凝固制备多晶硅成品率提高方法 | 第26-40页 |
| 3.1 铸锭分厂生产现状及工作流程 | 第26-27页 |
| 3.1.1 生产现状 | 第26页 |
| 3.1.2 工作流程 | 第26-27页 |
| 3.2 定向凝固原理及方法 | 第27-28页 |
| 3.3 定向凝固设备及工艺流程 | 第28-31页 |
| 3.3.1 定向凝固设备 | 第28-29页 |
| 3.3.2 铸锭设备的工艺流程 | 第29-31页 |
| 3.4 提高多晶硅成品率凝固速率的选择 | 第31-36页 |
| 3.4.1 凝固速率对有效分凝系数的影响 | 第31-33页 |
| 3.4.2 凝固速率对各种金属杂质去除的影响 | 第33-36页 |
| 3.5 优化隔热板下拉速率 | 第36-39页 |
| 3.5.1 隔热板下拉速率对定向凝固的影响 | 第36-37页 |
| 3.5.2 隔热板下拉方法不同方案的比较 | 第37-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 切割制备多晶硅片的过程控制 | 第40-48页 |
| 4.1 硅片切割的原理及工艺流程 | 第40-41页 |
| 4.2 硅锭切割设备 | 第41-42页 |
| 4.3 硅锭切割范围控制 | 第42-47页 |
| 4.3.1 各种金属杂质浓度与硅锭高度之间的关系 | 第42-45页 |
| 4.3.2 多晶硅锭切割范围的控制 | 第45-46页 |
| 4.3.3 切割方案的确定 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 总结与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 作者简介 | 第53页 |
