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基于微波等离子体光源的模拟研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第11-17页
    1.1 光源的发展史第11-12页
    1.2 微波等离子体灯的发展历程第12-13页
        1.2.1 国外的发展历程第12页
        1.2.2 国内发展历程第12-13页
    1.3 微波等离子体灯的优势第13-14页
    1.4 微波等离子体灯的发光原理第14-16页
    1.5 本文内容介绍第16-17页
第二章 灯的结构以及等离子体原理第17-32页
    2.1 灯的结构第17-24页
        2.1.1 磁控管第17-18页
        2.1.2 电源第18页
        2.1.3 谐振腔第18-22页
        2.1.4 波导第22-23页
        2.1.5 灯泡第23-24页
    2.2 物质状态第24-29页
        2.2.1 等离子体的基本概念第24-25页
        2.2.2 等离子体的分类第25-26页
        2.2.3 等离子体的基本参量第26-27页
        2.2.4 等离子体的准电中性第27页
        2.2.5 等离子体振荡第27-28页
        2.2.6 等离子体鞘层第28页
        2.2.7 德拜屏蔽长度第28页
        2.2.8 等离子体判据第28-29页
    2.3 气体放电的基本物理过程第29-32页
        2.3.1 激发与电离第29-30页
        2.3.2 带电粒子在气体中的运动第30-31页
        2.3.3 粒子复合第31-32页
第三章 模型的建立及分析第32-44页
    3.1 仿真软件介绍第32页
    3.2 几何模型物理尺寸的确定第32-33页
    3.3 仿真模型的建立第33-35页
        3.3.1 几何模型的建立第33-34页
        3.3.2 边界条件的设置第34页
        3.3.3 其他参数的设置第34-35页
    3.4 微波等离子体灯内电子密度计算第35页
    3.5 微波等离子体灯内电子能量密度计算第35-38页
    3.6 微波等离子体灯内重物质传输第38-40页
    3.7 电磁场与等离子体的相互作用第40-43页
        3.7.1 直流放电第41-42页
        3.7.2 电感耦合等离子体第42-43页
    3.8 灯内的粒子之间的反应第43-44页
第四章 建模仿真及结果分析第44-72页
    4.1 电子密度分布第44-51页
        4.1.1 电子三维密度分布第44-45页
        4.1.2 电子密度分布的理论阐述第45-48页
        4.1.3 电子密度二维分布第48-51页
    4.2 氩离子的密度分布第51-53页
    4.3 场强分布第53-61页
        4.3.1 灯周围的场强第53-54页
        4.3.2 灯内的场强第54-61页
    4.4 电子温度分布第61-63页
    4.5 激发态氩的分布第63-65页
    4.6 氩分子的密度分布第65页
    4.7 电子能密度分布第65-67页
    4.8 谐振腔高度优化前后的对比第67-69页
        4.8.1 电子密度分布的对比第67-68页
        4.8.2 电场强度的对比第68页
        4.8.3 氩离子的密度分布对比第68-69页
    4.9 灯的位置优化前后的对比第69-72页
        4.9.1 电子密度分布对比第69-70页
        4.9.2 电场强度分布对比第70-71页
        4.9.3 氩离子密度分布对比第71-72页
第五章 总结第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-76页
攻硕期间取得的研究成果第76-77页

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