基于微波等离子体光源的模拟研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 光源的发展史 | 第11-12页 |
| 1.2 微波等离子体灯的发展历程 | 第12-13页 |
| 1.2.1 国外的发展历程 | 第12页 |
| 1.2.2 国内发展历程 | 第12-13页 |
| 1.3 微波等离子体灯的优势 | 第13-14页 |
| 1.4 微波等离子体灯的发光原理 | 第14-16页 |
| 1.5 本文内容介绍 | 第16-17页 |
| 第二章 灯的结构以及等离子体原理 | 第17-32页 |
| 2.1 灯的结构 | 第17-24页 |
| 2.1.1 磁控管 | 第17-18页 |
| 2.1.2 电源 | 第18页 |
| 2.1.3 谐振腔 | 第18-22页 |
| 2.1.4 波导 | 第22-23页 |
| 2.1.5 灯泡 | 第23-24页 |
| 2.2 物质状态 | 第24-29页 |
| 2.2.1 等离子体的基本概念 | 第24-25页 |
| 2.2.2 等离子体的分类 | 第25-26页 |
| 2.2.3 等离子体的基本参量 | 第26-27页 |
| 2.2.4 等离子体的准电中性 | 第27页 |
| 2.2.5 等离子体振荡 | 第27-28页 |
| 2.2.6 等离子体鞘层 | 第28页 |
| 2.2.7 德拜屏蔽长度 | 第28页 |
| 2.2.8 等离子体判据 | 第28-29页 |
| 2.3 气体放电的基本物理过程 | 第29-32页 |
| 2.3.1 激发与电离 | 第29-30页 |
| 2.3.2 带电粒子在气体中的运动 | 第30-31页 |
| 2.3.3 粒子复合 | 第31-32页 |
| 第三章 模型的建立及分析 | 第32-44页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第32页 |
| 3.2 几何模型物理尺寸的确定 | 第32-33页 |
| 3.3 仿真模型的建立 | 第33-35页 |
| 3.3.1 几何模型的建立 | 第33-34页 |
| 3.3.2 边界条件的设置 | 第34页 |
| 3.3.3 其他参数的设置 | 第34-35页 |
| 3.4 微波等离子体灯内电子密度计算 | 第35页 |
| 3.5 微波等离子体灯内电子能量密度计算 | 第35-38页 |
| 3.6 微波等离子体灯内重物质传输 | 第38-40页 |
| 3.7 电磁场与等离子体的相互作用 | 第40-43页 |
| 3.7.1 直流放电 | 第41-42页 |
| 3.7.2 电感耦合等离子体 | 第42-43页 |
| 3.8 灯内的粒子之间的反应 | 第43-44页 |
| 第四章 建模仿真及结果分析 | 第44-72页 |
| 4.1 电子密度分布 | 第44-51页 |
| 4.1.1 电子三维密度分布 | 第44-45页 |
| 4.1.2 电子密度分布的理论阐述 | 第45-48页 |
| 4.1.3 电子密度二维分布 | 第48-51页 |
| 4.2 氩离子的密度分布 | 第51-53页 |
| 4.3 场强分布 | 第53-61页 |
| 4.3.1 灯周围的场强 | 第53-54页 |
| 4.3.2 灯内的场强 | 第54-61页 |
| 4.4 电子温度分布 | 第61-63页 |
| 4.5 激发态氩的分布 | 第63-65页 |
| 4.6 氩分子的密度分布 | 第65页 |
| 4.7 电子能密度分布 | 第65-67页 |
| 4.8 谐振腔高度优化前后的对比 | 第67-69页 |
| 4.8.1 电子密度分布的对比 | 第67-68页 |
| 4.8.2 电场强度的对比 | 第68页 |
| 4.8.3 氩离子的密度分布对比 | 第68-69页 |
| 4.9 灯的位置优化前后的对比 | 第69-72页 |
| 4.9.1 电子密度分布对比 | 第69-70页 |
| 4.9.2 电场强度分布对比 | 第70-71页 |
| 4.9.3 氩离子密度分布对比 | 第71-72页 |
| 第五章 总结 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
