用于地球化学微量元素分析的TOF-SIMS的研制
| 提要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 详细摘要 | 第7-23页 |
| 第1章 绪论 | 第23-41页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第23-28页 |
| 1.2 研究现状 | 第28-39页 |
| 1.2.1 SIMS在地球化学研究中的应用 | 第28-29页 |
| 1.2.2 TOF-SIMS技术 | 第29-33页 |
| 1.2.3 离子源和一次离子光学系统 | 第33-35页 |
| 1.2.4 TOF质量分析器 | 第35-37页 |
| 1.2.5 中性粒子飞秒激光后电离技术 | 第37-39页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第39-41页 |
| 第2章 TOF-SIMS总体设计 | 第41-49页 |
| 2.1 引言 | 第41页 |
| 2.2 性能需求分析 | 第41-45页 |
| 2.2.1 空间分辨率 | 第41-42页 |
| 2.2.2 质量分辨率 | 第42-44页 |
| 2.2.3 检测限 | 第44-45页 |
| 2.3 总体方案设计 | 第45-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第3章 离子源和一次离子光学系统研制 | 第49-79页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 双等离子体源工作原理 | 第50-51页 |
| 3.3 双等离子体源仿真与性能研究 | 第51-58页 |
| 3.3.1 离子源磁场仿真 | 第51-54页 |
| 3.3.2 离子源等离子体放电仿真 | 第54-58页 |
| 3.4 一次离子光学系统研制 | 第58-68页 |
| 3.4.1 聚光透镜的设计 | 第59-62页 |
| 3.4.2 Wien Filter的设计 | 第62-64页 |
| 3.4.3 一次离子光学系统的设计与仿真 | 第64-68页 |
| 3.4.4 高压电源与偏转板电源的选择 | 第68页 |
| 3.5 一次离子束性能测试 | 第68-78页 |
| 3.5.1 系统安装 | 第69-70页 |
| 3.5.2 离子流强度 | 第70-72页 |
| 3.5.3 离子束直径 | 第72-75页 |
| 3.5.4 气压和放电电流对离子源性能影响 | 第75-77页 |
| 3.5.5 离子束能量和寿命 | 第77页 |
| 3.5.6 离子束亮度和磁场对离子束亮度影响 | 第77-78页 |
| 3.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第4章 TOF质量分析器研制 | 第79-97页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 TOF的工作原理 | 第79-85页 |
| 4.2.1 直线式多场加速聚焦 | 第80-83页 |
| 4.2.2 反射式二阶聚焦 | 第83-85页 |
| 4.3 质量分析器设计 | 第85-93页 |
| 4.3.1 无栅网二阶聚焦反射器 | 第85-89页 |
| 4.3.2 离子检测系统 | 第89-92页 |
| 4.3.3 Z形双反射质量分析器 | 第92-93页 |
| 4.4 质量分析器的安装调试 | 第93-96页 |
| 4.5 本章小结 | 第96-97页 |
| 第5章 中性粒子飞秒激光后电离技术研究 | 第97-105页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 飞秒激光后电离系统设计 | 第97-100页 |
| 5.2.1 二次离子提取系统的设计 | 第97-99页 |
| 5.2.2 飞秒激光后电离系统结构 | 第99-100页 |
| 5.3 飞秒激光后电离系统测试 | 第100-103页 |
| 5.3.1 飞秒激光后电离系统分析金属样品 | 第100-102页 |
| 5.3.2 飞秒激光后电离分析锆石 | 第102页 |
| 5.3.3 离子源溅射中性粒子轴向空间分布研究 | 第102-103页 |
| 5.4 本章小结 | 第103-105页 |
| 第6章 仪器集成、测试与应用 | 第105-121页 |
| 6.1 引言 | 第105页 |
| 6.2 仪器集成 | 第105-107页 |
| 6.3 样品制备 | 第107页 |
| 6.4 性能指标测试 | 第107-112页 |
| 6.4.1 质量分辨率 | 第107-108页 |
| 6.4.2 空间分辨率 | 第108-109页 |
| 6.4.3 质量范围 | 第109-110页 |
| 6.4.4 质量精度及稳定度 | 第110页 |
| 6.4.5 检测限 | 第110-111页 |
| 6.4.6 稀土元素分析精度(NIST610) | 第111-112页 |
| 6.5 锆石微量元素分析应用 | 第112-119页 |
| 6.5.1 锆石稀土元素分析 | 第114-117页 |
| 6.5.2 锆石Ti元素分析应用 | 第117-119页 |
| 6.6 本章小结 | 第119-121页 |
| 第7章 全文总结 | 第121-125页 |
| 7.1 主要研究成果及创新性工作 | 第121-124页 |
| 7.2 存在的问题及下一步工作建议 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-139页 |
| 作者简介及攻博期间发表的学术论文与科研成果 | 第139-141页 |
| 作者简介 | 第139页 |
| 学术论文 | 第139-140页 |
| 已授权的发明专利情况 | 第140页 |
| 参与科研项目情况 | 第140-141页 |
| 致谢 | 第141页 |
