内容提要 | 第1-7页 |
第一章 绪论 | 第7-22页 |
·金刚石的晶体结构 | 第7-8页 |
·天然金刚石和人造金刚石 | 第8页 |
·金刚石的性质 | 第8-12页 |
·金刚石的力学和声学性质 | 第9-10页 |
·金刚石的热学性质 | 第10-11页 |
·金刚石的光学性质 | 第11页 |
·金刚石的电学性质 | 第11-12页 |
·金刚石的化学性质 | 第12页 |
·金刚石的其他性质 | 第12页 |
·低压气相沉积金刚石的制备技术简介 | 第12-15页 |
·热丝CVD 法 | 第13-14页 |
·等离子体CVD 法 | 第14-15页 |
·CVD 金刚石的生长机理 | 第15-20页 |
·碳的T-P 相图 | 第15-16页 |
·金刚石CVD 过程中的生长和反应基团 | 第16-19页 |
·原子氢的作用 | 第19页 |
·N_2、O_2、CO_2 对CVD 金刚石生长的作用 | 第19-20页 |
·CVD 金刚石单晶的生长研究 | 第20-21页 |
·论文的选题及主要研究内容 | 第21-22页 |
第二章 实验设备简介及金刚石的表征技术 | 第22-25页 |
·实验设备 | 第22-23页 |
·金刚石的表征技术 | 第23-25页 |
第三章 引入CO_2气体对CVD 金刚石单晶生长的影响 | 第25-36页 |
·引言 | 第25页 |
·引入CO_2 生长金刚石单晶实验介绍 | 第25-26页 |
·CO_2 对CVD 金刚石单晶生长速率的影响 | 第26-27页 |
·CVD 金刚石单晶的表面形貌 | 第27-31页 |
·数码相机拍照的表面形貌 | 第27页 |
·金刚石单晶的光学显微镜表面形貌 | 第27-28页 |
·金刚石单晶的原子力显微镜表面照片 | 第28-31页 |
·金刚石单晶样品的Raman 光谱 | 第31页 |
·沉积金刚石单晶的等离子体光发射谱(OES)研究 | 第31-35页 |
·本章小结 | 第35-36页 |
第四章 引入CO_2生长的金刚石单晶的光谱研究 | 第36-42页 |
·引言 | 第36页 |
·紫外可见光谱研究 | 第36-37页 |
·光致发光光谱研究 | 第37-38页 |
·红外光谱研究 | 第38-40页 |
·不同气体对金刚石单晶生长的影响 | 第40-41页 |
·引入不同气体对金刚石单晶生长速率的影响 | 第40-41页 |
·引入不同气体对金刚石单晶生长速率的影响 | 第41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第五章 全文总结 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-49页 |
学术论文及取得的科研成果 | 第49-50页 |
致谢 | 第50-51页 |
中文摘要 | 第51-52页 |
Abstract | 第52页 |