| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 薄膜锂电池概述 | 第10-14页 |
| 1.2.1 薄膜电池结构及工作原理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 薄膜锂电池研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 薄膜正极材料 | 第14-18页 |
| 1.3.1 过渡金属硫化物 | 第14页 |
| 1.3.2 V_2O_5 | 第14页 |
| 1.3.3 层状正极薄膜 | 第14-17页 |
| 1.3.4 尖晶石结构LiMn_2O_4 | 第17-18页 |
| 1.4 磁控溅射制备LiCoO_2薄膜的研究现状及进展 | 第18-21页 |
| 1.5 本文研究思路及创新 | 第21页 |
| 1.6 本论文的结构安排 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法与表征手段 | 第23-30页 |
| 2.1 主要试剂及实验仪器 | 第23-24页 |
| 2.1.1 所用材料 | 第23-24页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第24页 |
| 2.2 材料的制备 | 第24-27页 |
| 2.2.1 磁控溅射镀膜技术 | 第24-26页 |
| 2.2.2 真空蒸发镀膜技术 | 第26-27页 |
| 2.3 电化学性能测试 | 第27页 |
| 2.3.1 循环伏安法 | 第27页 |
| 2.3.2 恒流充放电测试 | 第27页 |
| 2.3.3 电化学交流阻抗谱 | 第27页 |
| 2.4 表征方法 | 第27-30页 |
| 2.4.1 X射线衍射分析 | 第28页 |
| 2.4.2 扫描电子显微技术 | 第28-30页 |
| 第三章 LiCoO_2正极薄膜的制备及改性 | 第30-51页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 LiCoO_2薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 3.3 不同基片温度 | 第31-33页 |
| 3.4 不同功率 | 第33-38页 |
| 3.4.1 不同功率下LiCoO_2薄膜结构及形貌 | 第34-36页 |
| 3.4.2 不同溅射功率下LiCoO_2薄膜的电化学性能 | 第36-38页 |
| 3.5 不同氧分压 | 第38-42页 |
| 3.5.1 不同氧分压结构及形貌分析 | 第39-41页 |
| 3.5.2 不同含氧量制备钴酸锂薄膜的电化学性能 | 第41-42页 |
| 3.6 不同厚度 | 第42-44页 |
| 3.7 薄膜改性研究 | 第44-50页 |
| 3.7.1 LiCoO_2薄膜的Li F溅射包覆 | 第44-47页 |
| 3.7.2 共溅射掺Al对LiCoO_2性能的影响 | 第47-50页 |
| 3.8 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于LiCoO_2正极的全固态薄膜锂电池的制备 | 第51-67页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 冷压法基于石英基底全固态准薄膜电池制备 | 第51-54页 |
| 4.2.1 电池结构及制备流程 | 第51-53页 |
| 4.2.2 电化学性能 | 第53-54页 |
| 4.3 锂负极薄膜制备 | 第54-56页 |
| 4.4 硬质基底全固态薄膜锂电池制备 | 第56-62页 |
| 4.5 不锈钢柔性基底全固态薄膜锂电池制备 | 第62-66页 |
| 4.5.1 薄膜电池结构及制备流程 | 第63-64页 |
| 4.5.2 电化学性能表征 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 结论 | 第67页 |
| 5.2 展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第78页 |
