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微机械加速度计中磁反馈结构设计与性能测试

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
目录第7-9页
1 绪论第9-13页
    1.1 课题研究背景第9-11页
    1.2 硕士期间的主要工作第11-13页
2 磁路的设计目标第13-18页
    2.1 磁场设计区域的确定第13-14页
    2.2 磁路的设计目标第14-17页
    2.3 本章小结第17-18页
3 磁场的仿真第18-38页
    3.1 磁场的仿真原理第18页
    3.2 磁路结构的确定第18-23页
    3.3 磁路参数对磁场性能的影响第23-36页
    3.4 磁场仿真结果第36-37页
    3.5 本章小结第37-38页
4 磁路的组装及性能测试第38-61页
    4.1 磁组件加工的误差分配第38-39页
    4.2 永磁铁的挑选方法第39页
    4.3 磁场测量装置的搭建第39-40页
    4.4 磁路的组装及性能测试第40-59页
    4.5 本章小结第59-61页
5 总结与展望第61-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-68页
附录第68-87页
    附录 1第68-73页
    附录 2第73-85页
    附录 3第85-87页

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