| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 BST薄膜材料概述及变容管现状 | 第11-16页 |
| 1.3 高耐压器件对BST薄膜性能的要求 | 第16-17页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 BST薄膜变容管制备 | 第19-34页 |
| 2.1 BST薄膜的制备 | 第19-25页 |
| 2.1.1 BST溅射靶材制备 | 第20-23页 |
| 2.1.2 BST薄膜制备 | 第23-25页 |
| 2.2 BST薄膜变容管制备 | 第25-31页 |
| 2.2.1 变容管结构设计 | 第25-27页 |
| 2.2.2 变容管微细加工研究 | 第27-31页 |
| 2.3 BST薄膜变容管测试表征方法 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 BST薄膜变容管性能及影响因素 | 第34-46页 |
| 3.1 BST薄膜变容管漏电流分析 | 第34-41页 |
| 3.1.1 温度对BST薄膜变容管漏电流的影响 | 第34-36页 |
| 3.1.2 溅射气压对BST薄膜变容管漏电流的影响 | 第36-38页 |
| 3.1.3 氧氩流量比对BST薄膜变容管漏电流的影响 | 第38-41页 |
| 3.2 BST薄膜变容管介电性能分析 | 第41-43页 |
| 3.3 BST薄膜变容管耐压分析 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 BST薄膜变容管高频性能研究 | 第46-55页 |
| 4.1 高频性能表征方法 | 第46-51页 |
| 4.2 测试结果及分析 | 第51-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 结论 | 第55页 |
| 5.2 展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第63-64页 |