| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 注释表 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| 1.1 太阳能电池的研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 薄膜太阳电池 | 第15-18页 |
| 1.2.1 薄膜太阳电池的意义 | 第15-16页 |
| 1.2.2 薄膜太阳能电池结构 | 第16-17页 |
| 1.2.3 薄膜太阳能电池材料 | 第17-18页 |
| 1.3 CZTS 薄膜太阳能电池 | 第18-25页 |
| 1.3.1 CZTS 材料的性能与意义 | 第18-19页 |
| 1.3.2 CZTS 材料的主要制备方法 | 第19-24页 |
| 1.3.3 国内外 CZTS 薄膜太阳电池研究进展 | 第24-25页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 实验方法和原理 | 第27-37页 |
| 2.1 实验设备和原材料 | 第27页 |
| 2.2 金属前驱体薄膜的制备 | 第27-31页 |
| 2.2.1 衬底的清洗 | 第27-28页 |
| 2.2.2 磁控溅射原理 | 第28页 |
| 2.2.3 磁控溅射设备 | 第28-30页 |
| 2.2.4 溅射制备薄膜过程 | 第30-31页 |
| 2.3 金属前驱体的硫化法 | 第31页 |
| 2.4 表征和测试方法 | 第31-37页 |
| 2.4.1 X 射线衍射 | 第32页 |
| 2.4.2 拉曼(Raman)光谱测试仪 | 第32-33页 |
| 2.4.3 台阶仪 | 第33-34页 |
| 2.4.4 扫描电子显微镜 | 第34页 |
| 2.4.5 分光光度计及薄膜带隙计算 | 第34-35页 |
| 2.4.6 四探针方阻测试仪 | 第35-37页 |
| 第三章 硫化氢硫化制备 CZTS 及其性能研究 | 第37-50页 |
| 3.1 前言 | 第37-39页 |
| 3.2 薄膜的制备 | 第39-40页 |
| 3.3 硫化时间对 CZTS 薄膜性能的影响 | 第40-44页 |
| 3.3.1 硫化时间对 CZTS 薄膜结构性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.2 硫化时间对 CZTS 薄膜表面形貌的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.3 硫化时间对 CZTS 薄膜光学性能的影响 | 第42-44页 |
| 3.4 硫化温度对 CZTS 薄膜性能的影响 | 第44-48页 |
| 3.4.1 硫化温度对 CZTS 薄膜结构性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.4.2 硫化温度对 CZTS 薄膜表面形貌的影响 | 第46-47页 |
| 3.4.3 硫化温度对 CZTS 薄膜元素比例的影响 | 第47页 |
| 3.4.4 硫化温度对 CZTS 薄膜光学性能的影响 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 金属前驱体预处理对硫粉硫化制备的 CZTS 性能影响 | 第50-62页 |
| 4.1 前言 | 第50页 |
| 4.2 薄膜的制备 | 第50-51页 |
| 4.3 预处理温度对 CZTS 薄膜性能的影响 | 第51-57页 |
| 4.3.1 预处理温度对 CZTS 薄膜结构性能的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.2 预处理温度对 CZTS 薄膜表面形貌的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.3 预处理温度对 CZTS 薄膜化学元素的影响 | 第54-55页 |
| 4.3.4 预处理温度对 CZTS 薄膜光学性能的影响 | 第55-57页 |
| 4.4 预处理时间对 CZTS 薄膜性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.4.1 预处理时间对 CZTS 薄膜结构性能的影响 | 第57-58页 |
| 4.4.2 预处理时间对 CZTS 薄膜表面形貌的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.3 预处理时间对 CZTS 薄膜光学性能的影响 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 预处理后硫化温度对 CZTS 性能的影响 | 第62-69页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 薄膜的制备 | 第62-63页 |
| 5.3 预处理后硫化温度对 CZTS 薄膜结构性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.4 预处理后硫化温度对 CZTS 薄膜表面形貌和元素比例的影响 | 第65-67页 |
| 5.5 预处理后硫化温度对 CZTS 薄膜光学性能的影响 | 第67-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结和展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文和专利 | 第78页 |
| 攻读硕士学位期间参加科研项目情况 | 第78页 |
