| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 SF_6气体分解组分检测的意义及方法 | 第10-12页 |
| 1.1.1 SF_6气体分解组分检测的意义 | 第10页 |
| 1.1.2 SF_6气体分解组分检测方法 | 第10-12页 |
| 1.2 气体传感器技术的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 气敏材料及研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 TiO_2气敏材料 | 第14-15页 |
| 1.2.3 TiO_2气体传感器对SF_6分解组分中常见气体检测的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 介质阻挡放电低温等离子体技术 | 第16-19页 |
| 1.3.1 介质阻挡放电 | 第16-17页 |
| 1.3.2 低温等离子体 | 第17-18页 |
| 1.3.3 低温等离子体改性技术研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4 本文主要研究内容与技术路线 | 第19-20页 |
| 1.4.1 主要研究内容 | 第19页 |
| 1.4.2 技术路线 | 第19-20页 |
| 1.5 本章小结 | 第20-22页 |
| 2 实验平台及仿真计算理论简介 | 第22-30页 |
| 2.1 TiO_2气敏传感器的制备和改性 | 第22-25页 |
| 2.1.1 TiO_2气敏传感器的制备 | 第22-23页 |
| 2.1.2 TiO_2气敏传感器的改性 | 第23-25页 |
| 2.2 TiO_2气敏传感器的表征 | 第25-26页 |
| 2.3 气敏实验平台 | 第26-27页 |
| 2.4 仿真计算理论 | 第27-28页 |
| 2.4.1 第一性原理计算理论 | 第27页 |
| 2.4.2 密度泛函理论 | 第27-28页 |
| 2.4.3 仿真软件简介 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 氟掺杂TiO_2纳米管检测SF_6分解组分的研究 | 第30-46页 |
| 3.1 氟掺杂TiO_2纳米管检测分解组分的第一性原理计算 | 第30-38页 |
| 3.1.1 氟掺杂TiO_2模型的建立 | 第30-32页 |
| 3.1.2 吸附过程的参数计算 | 第32-35页 |
| 3.1.3 态密度分析 | 第35-38页 |
| 3.1.4 与本征TiO_2晶面仿真结果的对比 | 第38页 |
| 3.2 氟掺杂TiO_2纳米管的改性与表征 | 第38-42页 |
| 3.2.1 TiO_2纳米管的氟掺杂 | 第38-40页 |
| 3.2.2 氟掺杂TiO_2纳米管的表征 | 第40-42页 |
| 3.3 氟掺杂TiO_2纳米管检测分解组分的实验研究 | 第42-44页 |
| 3.3.1 气敏实验测量参数 | 第42页 |
| 3.3.2 氟掺杂TiO_2纳米管的温度特性 | 第42-43页 |
| 3.3.3 氟掺杂TiO_2纳米管对三种分解组分的响应特性 | 第43-44页 |
| 3.4 氟掺杂TiO_2气敏特性的微观解释 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 氮氟共掺杂TiO_2纳米管检测SF_6分解组分的研究 | 第46-60页 |
| 4.1 氮氟共掺杂TiO_2纳米管检测分解组分的第一性原理计算 | 第46-52页 |
| 4.1.1 氮氟共掺杂TiO_2模型的建立 | 第46-47页 |
| 4.1.2 三种分解组分在NF-TiO_2上的吸附结果 | 第47-49页 |
| 4.1.3 分子前线轨道与态密度分析 | 第49-51页 |
| 4.1.4 计算结果与N和 F单掺杂的比较 | 第51-52页 |
| 4.2 氮氟共掺杂TiO_2纳米管的改性与表征 | 第52-56页 |
| 4.2.1 TiO_2纳米管的氮和氟共掺杂 | 第52-53页 |
| 4.2.2 氮和氟共掺杂TiO_2纳米管的表征 | 第53-56页 |
| 4.3 氮氟共掺杂TiO_2纳米管检测分解组分的实验研究 | 第56-57页 |
| 4.3.1 氟氟共掺杂TiO_2纳米管的温度特性 | 第56-57页 |
| 4.3.2 氮氟共掺杂TiO_2纳米管对三种分解组分的响应特性 | 第57页 |
| 4.4 氮氟共掺杂TiO_2气敏特性的微观解释 | 第57-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 结论与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 本文的主要结论 | 第60-61页 |
| 5.2 对后续研究的展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-70页 |
| 附录 | 第70-72页 |
| A.作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第70页 |
| B.作者在攻读学位期间参加的科研项目 | 第70-71页 |
| C.学位论文数据集 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |