高效大功率LED用金属银薄膜微结构的制备及其光学特性
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 银纳米颗粒的制备 | 第10-14页 |
| 1.2.2 银纳米颗粒在 LED 上的应用 | 第14-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 材料制备与表征方法 | 第18-23页 |
| 2.1 银纳米颗粒的制备 | 第18-20页 |
| 2.1.1 磁控溅射沉积系统 | 第18-19页 |
| 2.1.2 银纳米颗粒工艺流程 | 第19-20页 |
| 2.2 银颗粒厚度、形貌及性能表征 | 第20-21页 |
| 2.2.1 薄膜厚度测量 | 第20-21页 |
| 2.2.2 银纳米颗粒的形貌表征 | 第21页 |
| 2.3 银薄膜的物相表征 | 第21-22页 |
| 2.4 银纳米颗粒和 LED 光学性能表征 | 第22-23页 |
| 第3章 银纳米颗粒对出光性能的理论计算 | 第23-32页 |
| 3.1 模型的构建 | 第23-25页 |
| 3.2 结果分析 | 第25-31页 |
| 3.2.1 银颗粒大小对透光率的影响 | 第25-27页 |
| 3.2.2 银颗粒占位比对透光率的影响 | 第27-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 银纳米颗粒的制备 | 第32-46页 |
| 4.1 银薄膜制备工艺的研究 | 第32-37页 |
| 4.1.1 溅射功率对薄膜沉积速率的影响 | 第32-34页 |
| 4.1.2 工作气压对薄膜沉积速率的影响 | 第34-35页 |
| 4.1.3 银薄膜的形貌分析与透光率 | 第35-37页 |
| 4.2 银纳米颗粒的制备工艺 | 第37-45页 |
| 4.2.1 薄膜厚度对银纳米颗粒的影响 | 第37-40页 |
| 4.2.2 退火温度对银纳米颗粒的影响 | 第40-42页 |
| 4.2.3 退火时间对银纳米颗粒的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.4 退火速度对银纳米颗粒的影响 | 第43-44页 |
| 4.2.5 衬底种类对银纳米颗粒的影响 | 第44-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 银颗粒的光学性能及其在 LED 应用 | 第46-58页 |
| 5.1 样品制备 | 第46-47页 |
| 5.2 银纳米颗粒的光学性能测试 | 第47-50页 |
| 5.2.1 银纳米颗粒对反射率的影响 | 第47-48页 |
| 5.2.2 银纳米颗粒对透过率的影响 | 第48-50页 |
| 5.3 银纳米颗粒对 LED 光学性能影响 | 第50-56页 |
| 5.3.1 银纳米颗粒对 LED 出光性能的影响 | 第50-54页 |
| 5.3.2 银纳米颗粒对 LED 发光性能的影响 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
