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基于MOEMS的微型傅里叶变换光谱仪信号解调研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-20页
    1.1 课题研究背景第8-10页
    1.2 傅里叶变换光谱仪国内外的发展现状第10-17页
        1.2.1 时间调制型第10-14页
        1.2.2 空间调制型第14-17页
    1.3 本课题研究意义第17-18页
    1.4 论文主要内容第18页
    1.5 本章小结第18-20页
2 基于 MOEMS 的新型傅里叶变换光谱仪原理分析第20-36页
    2.1 傅里叶变换红外光谱学的基本原理第20-22页
    2.2 MOEMS 相关发展状况第22-24页
    2.3 新型傅里叶变换光谱仪工作原理第24-27页
    2.4 倾斜镜代替阶梯镜的干涉模型和理论分析第27-34页
        2.4.1 可编程 MEMS 微镜阵列的光学性质第29-31页
        2.4.2 倾斜反射镜的倾斜容限分析第31-33页
        2.4.3 干涉图的空间采样第33-34页
        2.4.4 系统性能特点分析第34页
    2.5 干涉图的处理第34-35页
    2.6 本章小结第35-36页
3 新型傅里叶变换光谱仪系统设计第36-52页
    3.1 光谱系统系统构成第36页
    3.2 光学设计第36-39页
        3.2.1 系统光源选取第36-37页
        3.2.2 干涉具设计第37-38页
        3.2.3 准直系统光学设计第38-39页
    3.3 电路硬件设计第39-51页
        3.3.1 微处理器选择-Microchip 单片机第40-41页
        3.3.2 微弱光信号检测放大电路设计第41-49页
        3.3.3 数据通信模块第49-50页
        3.3.4 电源模块设计第50-51页
    3.4 本章小结第51-52页
4 傅里叶变换红外光谱数据处理第52-62页
    4.1 基 2-傅里叶数字变换第52-53页
    4.2 傅里叶变换红外光谱表示方法第53-54页
    4.3 傅里叶变换光谱的预处理第54-56页
    4.4 光谱预测校正模型第56-59页
        4.4.1 定量模型第57-58页
        4.4.2 模型传递研究第58-59页
        4.4.3 模型评价第59页
    4.5 本章小结第59-62页
5 系统实验与分析第62-78页
    5.1 光电探测电路性能测试第62-64页
    5.2 光谱处理算法有效性验证第64-69页
        5.2.1 定量模型-PLS 校正验证第64-66页
        5.2.2 模型传递第66-69页
    5.3 光谱系统搭建与实验第69-77页
        5.3.1 光源卤钨灯第69-70页
        5.3.2 准直系统测试第70-73页
        5.3.3 倾斜反射镜倾斜容限验证实验分析第73-75页
        5.3.4 光谱系统测试实验第75-77页
    5.4 本章小结第77-78页
6 结论总结与研究展望第78-80页
致谢第80-82页
参考文献第82-86页
附录第86页
    A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录第86页

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