| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-28页 |
| 1.1 等离子体的特性和应用 | 第9-10页 |
| 1.2 低温等离子体源介绍 | 第10-13页 |
| 1.2.1 射频容性耦合等离子体源 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微波电子回旋共振等离子体源 | 第11页 |
| 1.2.3 螺旋波等离子体源 | 第11-12页 |
| 1.2.4 射频感性耦合等离子体源 | 第12-13页 |
| 1.3 感性耦合等离子体的研究现状 | 第13-27页 |
| 1.4 本文的内容及安排 | 第27-28页 |
| 2 感性耦合等离子体源的实验系统介绍 | 第28-34页 |
| 2.1 实验装置介绍 | 第28-29页 |
| 2.2 实验诊断装置简述 | 第29-34页 |
| 2.2.1 Z-Scan测量系统 | 第29-30页 |
| 2.2.2 Langmuir探针 | 第30-31页 |
| 2.2.3 光谱诊断系统 | 第31-34页 |
| 3 感性耦合心等离子体物理属性的实验研究 | 第34-49页 |
| 3.1 Ar等离子体的Langmuir探针诊断 | 第34-43页 |
| 3.1.1 外界参数对等离子体参数径向分布的影响 | 第34-40页 |
| 3.1.2 外界参数对等离子体参数在定点上的影响 | 第40-43页 |
| 3.2 Ar等离子体的光谱诊断 | 第43-48页 |
| 3.2.1 谱线强度的径向测量 | 第45-47页 |
| 3.2.2 谱线强度的定点测量 | 第47-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 感性耦合Ar-O_2等离子体物理属性的实验研究 | 第49-59页 |
| 4.1 Ar-O_2等离子体的Langmuir探针诊断 | 第49-52页 |
| 4.1.1 外界参数对电子密度径向分布的影响 | 第49-50页 |
| 4.1.2 O_2 含量对电子密度和EEPF在定点上的影响 | 第50-52页 |
| 4.2 Ar-O_2等离子体的光谱诊断 | 第52-58页 |
| 4.2.1 谱线强度的径向测量 | 第52-56页 |
| 4.2.2 谱线强度的定点测量 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 感性耦合O_2等离子体的光谱研究 | 第59-63页 |
| 5.1 谱线强度的径向测量 | 第59-60页 |
| 5.2 谱线强度的定点测量 | 第60-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
