| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第16-29页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-27页 |
| 1.2.1 自然球面基准——点衍射干涉检测技术 | 第18-21页 |
| 1.2.2 数字球面基准——球面面形绝对检测技术 | 第21-24页 |
| 1.2.3 球面大曲率半径干涉检测技术 | 第24-26页 |
| 1.2.4 研究现状总结 | 第26-27页 |
| 1.3 课题来源和主要研究内容 | 第27-29页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第27页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第27-29页 |
| 2 亚纳米精度针孔式点衍射干涉检测技术 | 第29-56页 |
| 2.1 自然球面基准——点衍射波前质量分析 | 第29-40页 |
| 2.1.1 光波的矢量衍射理论 | 第29-32页 |
| 2.1.2 衍射针孔的物理参数对衍射波前质量的影响 | 第32-36页 |
| 2.1.3 衍射针孔的装调误差对衍射波前质量的影响 | 第36-39页 |
| 2.1.4 针孔衍射波前质量分析小节 | 第39-40页 |
| 2.2 针孔式点衍射干涉检测系统实验装置 | 第40-44页 |
| 2.2.1 硬件参数选择与成像系统设计 | 第40-42页 |
| 2.2.2 系统误差标定 | 第42-44页 |
| 2.3 针孔式点衍射干涉检测无镜成像技术 | 第44-55页 |
| 2.3.1 光波的标量衍射理论 | 第45-48页 |
| 2.3.2 点衍射干涉检测无镜成像衍射计算模型 | 第48-49页 |
| 2.3.3 基于Radon变换的获取距离数值的无镜成像技术仿真分析 | 第49-53页 |
| 2.3.4 点衍射干涉检测无镜成像实验验证 | 第53-55页 |
| 2.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 3 大数值孔径球面面形检测中的原理误差与校正技术 | 第56-74页 |
| 3.1 球面调整误差的高阶项描述及校正技术 | 第56-66页 |
| 3.1.1 高阶调整误差数学模型与校正方法理论分析 | 第56-63页 |
| 3.1.2 大数值孔径球面调整误差仿真分析 | 第63-64页 |
| 3.1.3 4次叠加9步平均高阶调整误差校正方法实验验证 | 第64-66页 |
| 3.2 大数值孔径球面面形旋转平移绝对检测技术 | 第66-72页 |
| 3.2.1 旋转平移绝对检测过程 | 第67-69页 |
| 3.2.2 大数值孔径球面旋转平移绝对检测过程仿真分析 | 第69-71页 |
| 3.2.3 大数值孔径球面旋转平移绝对检测实验验证 | 第71-72页 |
| 3.3 本章小结 | 第72-74页 |
| 4 大数值孔径球面曲率半径与透镜焦距干涉检测技术 | 第74-89页 |
| 4.1 基于波前差分方法的大数值孔径球面曲率半径检测技术 | 第74-80页 |
| 4.1.1 基于波前差分方法的球面曲率半径干涉检测过程 | 第74-77页 |
| 4.1.2 大数值孔径球面曲率半径干涉检测实验验证 | 第77-80页 |
| 4.2 基于波前差分方法的大数值孔径球面透镜焦距测量技术 | 第80-88页 |
| 4.2.1 基于波前差分方法的球面透镜半径干涉检测过程 | 第80-85页 |
| 4.2.2 大数值孔径球面透镜焦距干涉检测实验验证 | 第85-88页 |
| 4.3 本章小结 | 第88-89页 |
| 5 球面大曲率半径非零位干涉检测技术 | 第89-108页 |
| 5.1 基于笛卡尔坐标系的球面大曲率半径非零位干涉检测技术 | 第89-98页 |
| 5.1.1 笛卡尔坐标系中波前差分数据提取方法 | 第89-92页 |
| 5.1.2 非零位检测系统中回程误差的校正 | 第92-96页 |
| 5.1.3 虚拟“样板”曲率半径选取和低通滤波函数的讨论 | 第96页 |
| 5.1.4 笛卡尔坐标系中球面大曲率半径非零位检测实验验证 | 第96-98页 |
| 5.2 基于二阶极坐标系的球面大曲率半径非零位干涉检测技术 | 第98-106页 |
| 5.2.1 二阶极坐标系中波前差分数据的提取方法 | 第99-101页 |
| 5.2.2 球面大曲率半径非零位检测过程仿真分析 | 第101-104页 |
| 5.2.3 二阶极坐标系中球面大曲率半径非零位检测实验验证 | 第104-106页 |
| 5.3 本章小结 | 第106-108页 |
| 6 总结与展望 | 第108-110页 |
| 6.1 本文内容总结 | 第108页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第108-109页 |
| 6.3 展望 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-122页 |
| 附录1 | 第122-125页 |
| 附录2 | 第125页 |
