| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 课题的来源及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 原子层沉积制备技术的基本原理及特点 | 第10-16页 |
| 1.2.1 原子层沉积制备技术的基本原理 | 第10-13页 |
| 1.2.2 原子层沉积系统的基本构成 | 第13-15页 |
| 1.2.3 原子层沉积技术的特点 | 第15-16页 |
| 1.3 锌基氧化物薄膜的结构和基本性质 | 第16-20页 |
| 1.3.1 Zn O的晶体结构 | 第17-18页 |
| 1.3.2 Zn O的缺陷和掺杂 | 第18-19页 |
| 1.3.3 Al掺杂ZnO薄膜材料的特性 | 第19-20页 |
| 1.4 原子层沉积在表面防护领域的研究现状 | 第20-23页 |
| 1.4.1 原子层沉积在太阳能电池防腐涂层领域的应用 | 第20-21页 |
| 1.4.2 原子层沉积在金属表面防腐领域的应用 | 第21-22页 |
| 1.4.3 原子层沉积在复杂结构表面的应用 | 第22-23页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 实验材料与研究方法 | 第25-31页 |
| 2.1 实验材料及化学试剂 | 第25-26页 |
| 2.2 实验仪器 | 第26页 |
| 2.3 测试与表征方法 | 第26-28页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第26页 |
| 2.3.2 X射线光电子能谱分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 场发射扫描电镜分析 | 第27页 |
| 2.3.4 原子力显微镜 | 第27页 |
| 2.3.5 膜厚测试 | 第27页 |
| 2.3.6 电学性能测试 | 第27-28页 |
| 2.3.7 光学性能测试 | 第28页 |
| 2.3.8 耐蚀性能测试 | 第28页 |
| 2.3.9 疏水性能测试 | 第28页 |
| 2.4 原子层沉积AZO薄膜的制备 | 第28-31页 |
| 2.4.1 原子层沉积系统 | 第28-29页 |
| 2.4.2 实验前处理过程 | 第29-30页 |
| 2.4.3 原子层沉积AZO的前驱体选择 | 第30-31页 |
| 第3章 掺铝氧化锌薄膜的制备与表征 | 第31-52页 |
| 3.1 原子层沉积工艺对AZO薄膜性能的影响 | 第31-39页 |
| 3.1.1 沉积温度对AZO薄膜性能的影响 | 第32-36页 |
| 3.1.2 沉积压力对AZO薄膜性能的影响 | 第36-39页 |
| 3.2 铝掺杂浓度对AZO薄膜性能的影响 | 第39-47页 |
| 3.2.1 原子层沉积AZO薄膜的成分分析 | 第39-41页 |
| 3.2.2 Al掺杂对薄膜结晶形态的影响 | 第41-43页 |
| 3.2.3 Al掺杂浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.4 Al掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第44-45页 |
| 3.2.5 Al掺杂浓度对薄膜光学性能的影响 | 第45-47页 |
| 3.3 AZO薄膜的厚度对其性能的影响 | 第47-50页 |
| 3.3.1 厚度对薄膜结晶形态的影响 | 第48页 |
| 3.3.2 厚度对薄膜电学性能的影响 | 第48-50页 |
| 3.3.3 厚度对薄膜光学性能的影响 | 第50页 |
| 3.4 原子层沉积AZO薄膜的导电机制研究 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 原子层沉积AZO改性微弧氧化膜层研究 | 第52-64页 |
| 4.1 原子层沉积AZO改性微弧氧化膜层的制备 | 第52-55页 |
| 4.1.1 镁合金表面微弧氧化膜层的制备 | 第52-54页 |
| 4.1.2 镁合金表面改性膜层的制备 | 第54-55页 |
| 4.2 原子层沉积AZO改性膜层结构表征与分析 | 第55-58页 |
| 4.2.1 原子层沉积AZO改性膜层结晶形态分析 | 第55-56页 |
| 4.2.2 原子层沉积AZO改性膜层的表面形貌及其元素分析 | 第56-57页 |
| 4.2.3 原子层沉积AZO改性膜层的截面形貌及其元素分布 | 第57-58页 |
| 4.3 原子层沉积AZO改性膜层性能研究 | 第58-62页 |
| 4.3.1 原子层沉积AZO改性膜层导电性能研究 | 第58-59页 |
| 4.3.2 原子层沉积AZO改性膜层耐蚀性能研究 | 第59-60页 |
| 4.3.3 原子层沉积AZO改性膜层交流阻抗研究 | 第60-62页 |
| 4.4 原子层沉积AZO改性膜层的耐蚀机制研究 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
