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智能功率器件铝基板的微弧氧化处理及性能优化机理研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-21页
    1.1 背景介绍第11-13页
    1.2 铝基板阳极氧化第13-15页
        1.2.1 铝合金阳极氧化简介第14页
        1.2.2 阳极氧化在绝缘基板上的应用第14-15页
        1.2.3 阳极氧化的不足第15页
    1.3 铝基板的微弧氧化第15-19页
        1.3.1 微弧氧化简介第15-17页
        1.3.2 微弧氧化研究现状第17-19页
    1.4 微弧氧化在IPM用铝基板上的应用第19页
    1.5 课题研究目标与研究内容第19-21页
第二章 实验设备与研究方法第21-27页
    2.1 实验仪器与实验材料第21-23页
        2.1.1 微弧氧化设备第21页
        2.1.2 其他实验设备第21-22页
        2.1.3 实验材料第22-23页
    2.2 实验技术路线第23页
    2.3 微弧氧化膜的制备第23-24页
    2.4 微弧氧化膜的表征第24-27页
        2.4.1 微弧氧化膜层厚度表征第24页
        2.4.2 微弧氧化膜层相结构表征第24-25页
        2.4.3 微弧氧化膜层形貌表征第25页
        2.4.4 微弧氧化膜层绝缘性能表征第25页
        2.4.5 微弧氧化膜层结合性能表征第25-26页
        2.4.6 微弧氧化膜层孔隙率的表征第26-27页
第三章 满足智能功率模块需求的微弧氧化膜层工艺初步研究第27-32页
    3.1 前言第27页
    3.2 微弧氧化膜层制备第27-28页
        3.2.1 电解液的选取第27-28页
        3.2.2 电源模式的选取第28页
        3.2.3 电参数的选取第28页
        3.2.4 微弧氧化膜层的制备第28页
    3.3 微弧氧化膜层的形貌与成分第28-30页
        3.3.1 微弧氧化膜层形貌第28-29页
        3.3.2 微弧氧化膜层的组织第29-30页
    3.4 微弧氧化膜层性能第30-31页
    3.5 本章小结第31-32页
第四章 微弧氧化膜与环氧树脂的结合性研究第32-60页
    4.1 前言第32-33页
    4.2 表面结构对微弧氧化膜与环氧树脂结合性的影响第33-53页
        4.2.1 实验方法与结果第33-34页
        4.2.2 微弧氧化膜微观形貌结果分析第34-39页
        4.2.3 微弧氧化膜与环氧树脂润湿性分析第39-40页
        4.2.4 微弧氧化膜层与环氧树脂剪切面分析第40-45页
        4.2.5 微弧氧化膜与环氧树脂断面破坏路径分析第45-46页
        4.2.6 电解液添加剂对微弧氧化膜结构的影响第46-53页
    4.3 硅烷偶联剂对微弧氧化膜与环氧树脂结合性能影响第53-58页
        4.3.1 实验内容第54-55页
        4.3.2 实验结果与分析第55页
        4.3.3 微弧氧化膜层与环氧树脂剪切面分析第55-56页
        4.3.4 硅烷偶联剂处理后的微弧氧化膜层红外分析第56-58页
    4.4 本章小结第58-60页
第五章 微弧氧化膜绝缘性能与导热性能研究第60-73页
    5.1 前言第60页
    5.2 实验内容与实验结果第60-63页
    5.3 膜层组织对绝缘性与导热性能的影响第63-65页
    5.4 膜层的孔径分布对绝缘性与导热性能的影响第65-69页
        5.4.1 膜层的微观形貌分析第66-67页
        5.4.2 膜层的压汞结果分析第67-69页
    5.5 最优综合性能工艺选择第69-70页
    5.6 大尺寸微弧氧化膜层制作第70-72页
        5.6.1 工艺参数确定第70-71页
        5.6.2 膜层的性能第71-72页
    5.7 本章小结第72-73页
全文总结及工作展望第73-75页
    一 全文总结第73-74页
    二 工作展望第74-75页
参考文献第75-80页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第80-81页
致谢第81-82页
Ⅳ-2答辩委员会对论文的评定意见第82页

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