| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 Sb_2Te_3材料概述 | 第13-17页 |
| 1.2.1 Sb_2Te_3晶体结构和性质 | 第13-15页 |
| 1.2.2 Sb_2Te_3薄膜制备及研究 | 第15-17页 |
| 1.3 Sb_2Te_3薄膜的研究现状及应用 | 第17-19页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-24页 |
| 第二章 Sb_2Te_3微结构及表面形貌研究 | 第24-43页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.3 表征方法 | 第26-27页 |
| 2.4 薄膜微结构表征 | 第27-37页 |
| 2.4.1 不同制备条件下的Sb_2Te_3薄膜XRD表征 | 第27-33页 |
| 2.4.2 Sb_2Te_3薄膜AFM、SEM表征 | 第33-37页 |
| 2.5 Sb_2Te_3薄膜的Raman表征 | 第37-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-43页 |
| 第三章 Sb_2Te_3薄膜电学、光学特性研究 | 第43-56页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 Sb_2Te_3薄膜的电学特性 | 第43-47页 |
| 3.2.1 Sb_2Te_3薄膜电学测试方法 | 第43-45页 |
| 3.2.2 Sb_2Te_3薄膜的变温电学特性 | 第45-46页 |
| 3.2.3 Sb_2Te_3薄膜TCR特性 | 第46-47页 |
| 3.3 Sb_2Te_3薄膜的傅里叶红外光学分析 | 第47-52页 |
| 3.3.1 傅里叶红外光学测试原理 | 第47-48页 |
| 3.3.2 Sb_2Te_3薄膜的透射分析 | 第48-50页 |
| 3.3.3 Sb_2Te_3薄膜的反射谱分析 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 第四章 基于Sb_2Te_3薄膜的红外探测器的制备与分析 | 第56-65页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 红外探测器的制备和测试 | 第56-60页 |
| 4.2.1 器件制备 | 第56-59页 |
| 4.2.2 器件测试 | 第59-60页 |
| 4.3 热敏器件探测性能估计 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第五章 总结展望 | 第65-68页 |
| 5.1 论文总结 | 第65-66页 |
| 5.2 下一步工作展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间发表的相关学术成果 | 第70页 |
