| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 NiO薄膜的性质 | 第9-11页 |
| 1.2.1 NiO的晶体性质 | 第9-10页 |
| 1.2.2 NiO的气敏性质 | 第10页 |
| 1.2.3 NiO的电致变色性质 | 第10页 |
| 1.2.4 NiO的光电特性 | 第10-11页 |
| 1.3 NiO薄膜的主要应用及进展 | 第11-13页 |
| 1.3.1 发光二极管 | 第11-12页 |
| 1.3.2 太阳能电池 | 第12页 |
| 1.3.3 紫外光探测器 | 第12-13页 |
| 1.3.4 气敏传感器 | 第13页 |
| 1.4 本论文的研究意义和主要研究内容 | 第13-15页 |
| 1.4.1 本论文的研究意义 | 第13-14页 |
| 1.4.2 本论文的研究内容 | 第14-15页 |
| 2 NiO薄膜制备方法及表征手段 | 第15-26页 |
| 2.1 NiO薄膜的常用制备方法 | 第15-18页 |
| 2.1.1 化学气相沉积法 | 第15页 |
| 2.1.2 分子束外延法法 | 第15-16页 |
| 2.1.3 磁控溅射法 | 第16-17页 |
| 2.1.4 喷雾热解法 | 第17页 |
| 2.1.5 溶胶-凝胶法 | 第17-18页 |
| 2.2 溶胶-凝胶法的基本原理及优点 | 第18-22页 |
| 2.2.1 基本反应原理 | 第18-19页 |
| 2.2.2 几种常用方法 | 第19-22页 |
| 2.2.3 Spining法的特点 | 第22页 |
| 2.3 薄膜的表征手段 | 第22-25页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第22-23页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第23-24页 |
| 2.3.3 紫外-可见光谱 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 溶胶-凝胶旋涂法制备NiO薄膜及性质分析 | 第26-35页 |
| 3.1 实验材料、实验设备及分析设备 | 第26-27页 |
| 3.1.1 实验材料 | 第26页 |
| 3.1.2 实验设备 | 第26-27页 |
| 3.1.3 分析设备 | 第27页 |
| 3.2 NiO薄膜的制备过程 | 第27-29页 |
| 3.2.1 衬底的清洗 | 第28页 |
| 3.2.2 前驱体液的制备 | 第28-29页 |
| 3.2.3 旋涂法制备薄膜 | 第29页 |
| 3.2.4 NiO薄膜的热处理 | 第29页 |
| 3.3 NiO薄膜的性质分析 | 第29-34页 |
| 3.3.1 NiO薄膜结构分析 | 第29-30页 |
| 3.3.2 NiO薄膜表面形貌分析 | 第30-31页 |
| 3.3.3 NiO薄膜光透过性能分析 | 第31-32页 |
| 3.3.4 NiO薄膜光学带隙分析 | 第32-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 工艺条件对NiO薄膜性质的影响 | 第35-57页 |
| 4.1 溶胶浓度对NiO薄膜性质的影响 | 第35-43页 |
| 4.1.1 溶胶浓度对NiO薄膜结构性质的影响 | 第35-38页 |
| 4.1.2 溶胶浓度对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第38-40页 |
| 4.1.3 溶胶浓度对NiO薄膜光透过率的影响 | 第40-42页 |
| 4.1.4 溶胶浓度对NiO薄膜光学带隙的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.5 本节结论 | 第43页 |
| 4.2 旋涂次数对NiO薄膜性质的影响 | 第43-51页 |
| 4.2.1 旋涂次数对NiO薄膜结构性质的影响 | 第43-44页 |
| 4.2.2 旋涂次数对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第44-49页 |
| 4.2.3 旋涂次数对NiO薄膜光透过率的影响 | 第49页 |
| 4.2.4 旋涂次数对NiO薄膜光学带隙的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.5 本节结论 | 第50-51页 |
| 4.3 衬底对NiO薄膜性质的影响 | 第51-56页 |
| 4.3.1 衬底对NiO薄膜结构性质的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.2 衬底对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第52-54页 |
| 4.3.3 衬底对NiO薄膜光透过率的影响 | 第54页 |
| 4.3.4 衬底对NiO薄膜光学带隙的影响 | 第54-55页 |
| 4.3.5 本节结论 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 Mg掺杂NiO薄膜的制备及光透过性能的研究 | 第57-64页 |
| 5.1 Mg掺杂NiO薄膜的制备 | 第57页 |
| 5.2 Mg~(2+)浓度对Mg掺杂NiO薄膜性能的影响 | 第57-63页 |
| 5.2.1 Mg~(2+)浓度对Mg掺杂NiO薄膜结构性质的影响 | 第57-58页 |
| 5.2.2 Mg~(2+)浓度对Mg掺杂NiO薄膜表面形貌的影响 | 第58-61页 |
| 5.2.3 Mg~(2+)浓度对Mg掺杂NiO薄膜光透过率的影响 | 第61-62页 |
| 5.2.4 Mg~(2+)浓度对Mg掺杂NiO薄膜光学带隙的影响 | 第62-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-65页 |
| 6.1 结论 | 第64页 |
| 6.2 存在不足和展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
