| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 专用术语注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 可见光通信的研究背景 | 第12-17页 |
| 1.1.1 基于亮度控制的可见光通信调制技术 | 第13-16页 |
| 1.1.2 室内可见光通信系统信道模型概述 | 第16-17页 |
| 1.1.3 可见光通信面临的挑战 | 第17页 |
| 1.2 光子集成器件的研究背景 | 第17-21页 |
| 1.2.1 亚波长结构光栅的发展与应用 | 第18-19页 |
| 1.2.2 光子晶体的发展与应用 | 第19-21页 |
| 1.2.3 光波导的发展与应用 | 第21页 |
| 1.3 GaN基LED的研究背景 | 第21-27页 |
| 1.3.1 GaN材料的基本特性 | 第22-24页 |
| 1.3.2 GaN基LED器件的发展 | 第24-27页 |
| 1.4 本文结构安排 | 第27-30页 |
| 第二章 器件制备的工艺参数研究及角分辨测试系统的搭建 | 第30-56页 |
| 2.1 主要加工设备简介 | 第30-36页 |
| 2.2 工艺参数研究及参数条件确立 | 第36-45页 |
| 2.2.1 曝光工艺的条件确立 | 第36-42页 |
| 2.2.2 刻蚀和镀膜工艺的条件确立 | 第42-45页 |
| 2.3 角分辨测试系统的工作原理及搭建 | 第45-54页 |
| 2.3.1 角分辨测试系统的工作原理 | 第45-48页 |
| 2.3.2 角分辨测试系统的搭建 | 第48-54页 |
| 2.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 可见光波段的导模谐振光栅特性的研究 | 第56-84页 |
| 3.1 导模谐振光栅的基本理论及仿真方法 | 第56-68页 |
| 3.1.1 导模谐振光栅的基本理论推导 | 第56-66页 |
| 3.1.2 导模谐振光栅的仿真方法 | 第66-68页 |
| 3.2 导模谐振光栅的器件制备 | 第68-69页 |
| 3.3 器件性能表征 | 第69-82页 |
| 3.3.1 圆形导模谐振光栅的性能表征 | 第69-76页 |
| 3.3.2 线性导模谐振光栅的性能表征 | 第76-82页 |
| 3.4 本章小结 | 第82-84页 |
| 第四章 悬空薄膜LED器件的性能研究 | 第84-102页 |
| 4.1 LED器件的基本理论 | 第84-89页 |
| 4.1.1 LED器件的电致发光原理 | 第84-88页 |
| 4.1.2 LED器件的结电容模型 | 第88-89页 |
| 4.2 悬空薄膜LED和减薄LED器件的制备 | 第89-92页 |
| 4.3 器件性能表征 | 第92-100页 |
| 4.3.1 悬空薄膜LED器件性能 | 第92-97页 |
| 4.3.2 不同薄膜厚度的LED器件性能 | 第97-100页 |
| 4.4 本章小结 | 第100-102页 |
| 第五章 光子集成悬空薄膜LED器件中的平面光传输 | 第102-112页 |
| 5.1 平面光传输中漏模效应的理论基础 | 第102-105页 |
| 5.2 光子集成悬空薄膜LED器件的制备 | 第105-107页 |
| 5.3 实验结果 | 第107-111页 |
| 5.4 本章小结 | 第111-112页 |
| 第六章 总结与展望 | 第112-116页 |
| 6.1 总结 | 第112-114页 |
| 6.2 展望 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 附录1 攻读博士学位期间撰写的论文 | 第123-124页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利 | 第124-125页 |
| 附录3 攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |