| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 光学微腔的历史与现状 | 第14-15页 |
| 1.2 硅基光子学发展背景与现状 | 第15-16页 |
| 1.3 硅基光学微腔介绍 | 第16-19页 |
| 1.3.1 回音壁腔 | 第16-17页 |
| 1.3.2 光子晶体微腔 | 第17-19页 |
| 1.4 硅基光学微腔的应用 | 第19-24页 |
| 1.5 本论文主要内容及创新点 | 第24-28页 |
| 1.5.1 本论文的章节安排 | 第24-25页 |
| 1.5.2 本论文的主要创新点 | 第25-28页 |
| 2 硅基光学微腔的数值模拟方法与制作工艺 | 第28-42页 |
| 2.1 硅基光学微腔的数值模拟方法 | 第28-35页 |
| 2.1.1 频域分析方法 | 第28-31页 |
| 2.1.2 时域分析方法 | 第31-35页 |
| 2.2 硅基光学微腔的制作工艺 | 第35-40页 |
| 2.2.1 匀胶与光刻 | 第35-39页 |
| 2.2.2 刻蚀与去胶 | 第39-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-42页 |
| 3 基于绝热微环谐振器的光纤传感器 | 第42-52页 |
| 3.1 传统光纤传感系统 | 第42-44页 |
| 3.2 基于微环谐振器的光纤传感系统 | 第44-45页 |
| 3.3 绝热硅基微环谐振器的设计 | 第45-49页 |
| 3.3.1 绝热硅基微环谐振器的研究进展 | 第45页 |
| 3.3.2 绝热硅基微环谐振器的设计与仿真 | 第45-49页 |
| 3.4 槽式微环谐振器的制作与测试 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 基于SOI光学微腔的超声波传感器 | 第52-76页 |
| 4.1 超声波传感器发展概况 | 第52-53页 |
| 4.2 基于槽式硅基微环谐振器的超声波传感器 | 第53-67页 |
| 4.2.1 槽式硅基微环谐振器的设计与仿真 | 第54-58页 |
| 4.2.2 光声耦合分析 | 第58-64页 |
| 4.2.3 基于槽式硅基微环谐振器的超声波传感器的性能 | 第64-67页 |
| 4.3 基于硅基一维光子晶体微腔的超声波传感器 | 第67-73页 |
| 4.3.1 硅基一维光子晶体微腔的设计与仿真 | 第67-71页 |
| 4.3.2 基于硅基一维光子晶体微腔的超声波传感器的性能 | 第71-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-76页 |
| 5 耦合一维光子晶体微腔中宇称-时间对称性的破坏及其应用 | 第76-94页 |
| 5.1 宇称-时间对称性 | 第76-81页 |
| 5.2 耦合一维光子晶体微腔中的宇称-时间对称性的破坏 | 第81-88页 |
| 5.3 单向光传输的应用 | 第88-90页 |
| 5.4 高灵敏度单粒子传感 | 第90-92页 |
| 5.5 本章小结 | 第92-94页 |
| 6 槽式一维光子晶体微腔在粒子捕获中的应用 | 第94-112页 |
| 6.1 粒子捕获的研究背景 | 第94-101页 |
| 6.2 槽式一维光子晶体微腔 | 第101-103页 |
| 6.3 槽式一维光子晶体微腔的粒子捕获性能 | 第103-110页 |
| 6.3.1 光力和光势阱计算方法 | 第103-107页 |
| 6.3.2 粒子捕获系统的性能分析 | 第107-110页 |
| 6.4 本章小结 | 第110-112页 |
| 7 总结与展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-128页 |
| 作者简介 | 第128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及专利 | 第128-129页 |
