扫描干涉场曝光系统中光栅衍射波前控制方法研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 扫描干涉场曝光系统简介 | 第14-16页 |
| 1.3 相关领域的研究现状 | 第16-24页 |
| 1.3.1 工作台位置测量的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3.2 干涉条纹相位测量的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3.3 光栅波前相位调制的研究现状 | 第20-24页 |
| 1.4 主要研究内容和结构安排 | 第24-27页 |
| 1.4.1 论文主要内容 | 第24-25页 |
| 1.4.2 论文结构安排 | 第25-27页 |
| 第2章 二维工作台位置测量 | 第27-69页 |
| 2.1 引言 | 第27-28页 |
| 2.2 原型样机工作台测量及精度分析 | 第28-37页 |
| 2.2.1 外差测量方法 | 第28-30页 |
| 2.2.2 测量系统设计 | 第30-32页 |
| 2.2.3 精度分析 | 第32-37页 |
| 2.3 正样设备工作台测量及仿真模拟 | 第37-45页 |
| 2.3.1 双色外差测量方法 | 第37-41页 |
| 2.3.2 仿真模拟及结果讨论 | 第41-45页 |
| 2.4 原型样机测量镜面形检测 | 第45-57页 |
| 2.4.1 两点法检测原理及误差分析 | 第46-49页 |
| 2.4.2 测量镜面形检测算法改进 | 第49-51页 |
| 2.4.3 模拟仿真 | 第51-53页 |
| 2.4.4 实验验证及结果讨论 | 第53-57页 |
| 2.5 正样设备测量镜面形检测 | 第57-66页 |
| 2.5.1 三点法检测原理 | 第58-60页 |
| 2.5.2 零点误差校正 | 第60-61页 |
| 2.5.3 实验验证及结果讨论 | 第61-66页 |
| 2.6 本章小结 | 第66-69页 |
| 第3章 干涉条纹相位测量 | 第69-95页 |
| 3.1 引言 | 第69页 |
| 3.2 干涉条纹相位误差 | 第69-71页 |
| 3.3 干涉条纹相位测量 | 第71-79页 |
| 3.3.1 相位测量原理 | 第71-74页 |
| 3.3.2 相位测量误差 | 第74-79页 |
| 3.4 相位测量光路设计及分析 | 第79-93页 |
| 3.4.1 测量模块震动影响 | 第79-84页 |
| 3.4.2 模块化测量光路设计及分析 | 第84-90页 |
| 3.4.3 实验结果及结论 | 第90-93页 |
| 3.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 第4章 光栅衍射波前调制 | 第95-115页 |
| 4.1 引言 | 第95页 |
| 4.2 光栅衍射波前调制理论模型 | 第95-108页 |
| 4.2.1 光栅衍射波前 | 第95-97页 |
| 4.2.2 全息光栅相位分布 | 第97-100页 |
| 4.2.3 干涉条纹相位锁定 | 第100-103页 |
| 4.2.4 光栅衍射波前调制 | 第103-108页 |
| 4.3 仿真分析与实验验证 | 第108-114页 |
| 4.4 本章小结 | 第114-115页 |
| 第5章 总结与展望 | 第115-119页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第115-116页 |
| 5.2 展望 | 第116-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第129-131页 |
| 指导教师及作者简介 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
