| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 MEMS加速度计的发展 | 第11-13页 |
| 1.2 MEMS加速度计的主要种类 | 第13-17页 |
| 1.2.1 电容式加速度计 | 第13-14页 |
| 1.2.2 压阻式加速度计 | 第14-15页 |
| 1.2.3 压电式加速度计 | 第15-16页 |
| 1.2.4 热电式加速度计 | 第16-17页 |
| 1.2.5 谐振式加速度计 | 第17页 |
| 1.3 国内外谐振式加速度计研究现状 | 第17-21页 |
| 1.3.1 静电谐振式加速度计 | 第17-19页 |
| 1.3.2 压电谐振式加速度计 | 第19-21页 |
| 1.4 基于氮化铝的压电谐振式加速度计优势 | 第21-22页 |
| 1.5 基于氮化铝的压电谐振式加速度计的应用前景 | 第22-23页 |
| 1.6 论文的主要内容与框架 | 第23-25页 |
| 2 平面内加速度计的设计 | 第25-38页 |
| 2.1 谐振式加速度计的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.2 设计思路 | 第26-27页 |
| 2.3 加速度计的谐振器与电极设计 | 第27-38页 |
| 2.3.1 谐振器的工作模态选择 | 第27-28页 |
| 2.3.2 谐振器的谐振频率 | 第28页 |
| 2.3.3 谐振器的灵敏度 | 第28-29页 |
| 2.3.4 用于起振谐振器的电极设计 | 第29-31页 |
| 2.3.5 用于平面内加速度计的微柔性杠杆设计 | 第31-34页 |
| 2.3.6 加速度计整体设计 | 第34-38页 |
| 3 加速度计加工工艺介绍 | 第38-45页 |
| 4 测试设备与实验设计介绍 | 第45-48页 |
| 5 测试结果与分析 | 第48-55页 |
| 5.1 灵敏度 | 第48-50页 |
| 5.2 非线性特性 | 第50-51页 |
| 5.3 真空与非真空下的性能对比 | 第51-53页 |
| 5.4 传感器的温度特性 | 第53-54页 |
| 5.5 与前人工作的对比 | 第54-55页 |
| 6 用于平面内谐振式加速度计的DETF谐振器优化设计 | 第55-63页 |
| 6.1 优化设计 | 第55-57页 |
| 6.2 谐振器的加工 | 第57-58页 |
| 6.3 实验设计与测试结果 | 第58-62页 |
| 6.4 本设计的优异性 | 第62-63页 |
| 7 总结与展望 | 第63-66页 |
| 7.1 论文总结 | 第63-64页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 作者在学习期间取得的科研成果 | 第71页 |