| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 氮化物硬质膜 | 第11-13页 |
| 1.1.1 二元氮化物硬质膜 | 第11-12页 |
| 1.1.2 三元氮化物硬质膜 | 第12-13页 |
| 1.2 TiCrN硬质膜的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本课题的研究目标和主要研究内容 | 第15-17页 |
| 1.3.1 本课题的研究目标 | 第15页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第17-25页 |
| 2.1 试验设备 | 第17-19页 |
| 2.2 试验材料 | 第19-20页 |
| 2.2.1 靶材和基体的选取 | 第19页 |
| 2.2.2 基体材料预处理 | 第19-20页 |
| 2.3 TiCrN硬质膜的沉积方法及工艺制定 | 第20-22页 |
| 2.3.1 工艺参数对膜层的影响作用 | 第20-21页 |
| 2.3.2 TiCrN膜的沉积方法及工艺制定 | 第21-22页 |
| 2.4 TiCrN硬质膜的组织、成分及相结构测试 | 第22-23页 |
| 2.4.1 膜层组织与成分的测试 | 第22页 |
| 2.4.2 膜层的相结构测试 | 第22-23页 |
| 2.5 膜层硬度、结合力及抗热震性能测试 | 第23-25页 |
| 第3章 TiCrN硬质膜层表面与断面分析 | 第25-45页 |
| 3.1 TiCrN硬质膜表面成分 | 第25-28页 |
| 3.2 TiCrN硬质膜表面形貌及液滴 | 第28-33页 |
| 3.3 TiCrN硬质膜断面形貌 | 第33-38页 |
| 3.4 TiCrN硬质膜断面成分分布 | 第38-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 TiCrN硬质膜的相结构 | 第45-55页 |
| 4.1 TiCrN硬质膜的相组成及标定 | 第45-50页 |
| 4.2 Ti/Cr原子比对TiCrN择优生长晶面的影响 | 第50-52页 |
| 4.3 TiCrN硬质膜相结构及择优取向的再讨论 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 TiCrN硬质膜的力学性能与热震性 | 第55-73页 |
| 5.1 Ti/Cr原子比对TiCrN硬质膜硬度的影响 | 第55-58页 |
| 5.2 TiCrN硬质膜的膜/基附着力与耐磨性 | 第58-63页 |
| 5.3 TiCrN硬质膜的抗热震性能 | 第63-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 在学研究成果 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |