| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·力敏传感器的发展趋势 | 第11-12页 |
| ·本论文的国内外发展趋势 | 第12-17页 |
| ·纳米复合薄膜的介绍及其制备 | 第17-19页 |
| ·复合薄膜简介 | 第17页 |
| ·聚合物/纳米复合材料的制备 | 第17-19页 |
| ·本论文的研究意义 | 第19-20页 |
| ·本论文主要的研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 纳米复合薄膜力敏元件的基础理论研究 | 第21-29页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·纳米复合薄膜机构的电子传输机理研究 | 第21-24页 |
| ·纳米复合薄膜结构的电子输运理论研究 | 第21-23页 |
| ·复合导电材料的导电机理 | 第23-24页 |
| ·MEMS 机械结构应变与纳米复合薄膜的力敏效应机理研究 | 第24-28页 |
| ·MEMS 机械结构应变与纳米复合薄膜的力敏特性研究 | 第24-27页 |
| ·力敏传感器敏感单元的高灵敏性分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 纳米 ZnO/PDMS 复合薄膜的制备及结构表征 | 第29-37页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·实验部分 | 第29-33页 |
| ·实验材料及仪器 | 第29-31页 |
| ·纳米复合薄膜的制备过程 | 第31-33页 |
| ·纳米 ZnO/PDMS 复合薄膜形貌特性表征 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 纳米 ZnO/PDMS 复合薄膜力敏特性研究 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·实验部分 | 第37-38页 |
| ·测试仪器 | 第37页 |
| ·复合薄膜的测试方法 | 第37-38页 |
| ·纳米 ZnO/PDMS 复合薄膜力敏特性测试 | 第38-43页 |
| ·电阻对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第38-39页 |
| ·电容对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第39-41页 |
| ·阻抗实部对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第41-42页 |
| ·阻抗虚部对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-46页 |
| 第五章 纳米 ZnO/PDMS 复合薄膜在加速度计中的应用基础研究 | 第46-52页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·纳米 ZnO 敏感检测元件的制作及测试系统的搭建 | 第46-48页 |
| ·纳米 ZnO 敏感检测元件的制作 | 第46-47页 |
| ·测试系统的搭建 | 第47-48页 |
| ·纳米 ZnO 敏感元件在加速度计上的应用测试 | 第48-50页 |
| ·电阻对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第48-49页 |
| ·电容对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第49页 |
| ·阻抗实部对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第49-50页 |
| ·阻抗虚部对应力以及不同密度和尺寸的敏感 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-55页 |
| ·总结 | 第52-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
