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极微小电容的检测技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 绪论第11-19页
   ·课题背景第11-12页
   ·国内外发展现状第12-17页
   ·主要研究内容第17-18页
   ·论文结构安排第18-19页
第2章 极微小电容检测原理及性能评估第19-35页
   ·电容检测原理第19-27页
   ·电路性能评估方法第27-34页
   ·本章小结第34-35页
第3章 系统总体方案设计第35-51页
   ·引言第35页
   ·系统输入确定第35-37页
   ·系统总体方案第37-38页
   ·前级电路设计第38-41页
   ·信号解调单元设计第41-44页
   ·信号发生单元设计第44-49页
   ·系统实现方案第49页
   ·本章小结第49-51页
第4章 功能单元设计与仿真第51-65页
   ·引言第51页
   ·信号发生单元第51-55页
   ·前级电路第55-58页
   ·信号解调单元设计第58-64页
   ·本章小结第64-65页
第5章 实验及分析第65-75页
   ·引言第65页
   ·电路性能指标测试第65-68页
   ·位移检测性能指标测试第68-74页
   ·本章小结第74-75页
第6章 总结及展望第75-77页
   ·结论第75-76页
   ·论文创新点第76页
   ·研究展望第76-77页
参考文献第77-81页
在学期间学术成果情况第81-82页
指导教师及作者简介第82-83页
致谢第83页

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