| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-40页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·降低介电常数的方法及低k材料的性能要求 | 第9-11页 |
| ·降低分子极化率 | 第9页 |
| ·降低材料密度 | 第9-10页 |
| ·低k材料的性能要求 | 第10-11页 |
| ·常用低介电聚合物材料 | 第11-20页 |
| ·聚酰亚胺(Polyimide) | 第12-14页 |
| ·聚芳醚(Polyarylene Ether) | 第14-16页 |
| ·聚苯并噁嗪(Polybenzoxazine) | 第16-18页 |
| ·SiLK树脂 | 第18-19页 |
| ·苯并环丁烯树脂(BCB) | 第19-20页 |
| ·苯并环丁烯(BCB)树脂研究进展 | 第20-30页 |
| ·苯并环丁烯母体的合成 | 第20-22页 |
| ·苯并环丁烯衍生物的合成 | 第22-28页 |
| ·苯并环丁烯的聚合机理 | 第28-29页 |
| ·苯并环丁烯树脂的性能 | 第29-30页 |
| ·本论文的目的及主要工作 | 第30-32页 |
| 参考文献 | 第32-40页 |
| 第二章 含硅氧烷结构苯并环丁烯树脂的合成及其性能研究 | 第40-62页 |
| ·引言 | 第40-42页 |
| ·实验部分 | 第42-44页 |
| ·材料与试剂 | 第42页 |
| ·含硅氧烷结构苯并环丁烯单体的合成 | 第42-43页 |
| ·含硅氧烷结构苯并环丁烯预聚物的制备 | 第43页 |
| ·含硅氧烷结构苯并环丁烯薄膜的制备 | 第43页 |
| ·含硅氧烷结构苯并环丁烯树脂的制备 | 第43-44页 |
| ·结构与性能表征 | 第44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-58页 |
| ·单体合成与表征 | 第44-46页 |
| ·含硅氧烷结构苯并环丁烯预聚物及树脂 | 第46-50页 |
| ·固化动力学 | 第50-52页 |
| ·热稳定性 | 第52-54页 |
| ·热机械性能 | 第54-55页 |
| ·耐水性 | 第55-56页 |
| ·含硅氧烷结构BCB薄膜的平整性及介电性 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 第三章 苯并环丁烯封端光敏酰亚胺单体的合成及其树脂性能研究 | 第62-88页 |
| ·引言 | 第62-65页 |
| ·实验部分 | 第65-69页 |
| ·材料与试剂 | 第65页 |
| ·乙烯基封端酰亚胺单体(单体2)的合成 | 第65-66页 |
| ·苯并环丁烯封端酰亚胺单体(单体3)的合成 | 第66-68页 |
| ·苯并环丁烯封端酰亚胺薄膜材料的制备 | 第68页 |
| ·光敏性 | 第68页 |
| ·结构与性能表征 | 第68-69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-84页 |
| ·单体合成与表征 | 第69-72页 |
| ·苯并环丁烯封端酰亚胺单体的溶解性 | 第72-73页 |
| ·苯并环丁烯封端酰亚胺单体的固化行为 | 第73-74页 |
| ·固化动力学 | 第74-77页 |
| ·热稳定性 | 第77-79页 |
| ·热机械性能 | 第79-80页 |
| ·耐水性 | 第80页 |
| ·BCB薄膜的性能 | 第80-81页 |
| ·光敏性 | 第81-84页 |
| ·结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 第四章 含硅氧烷及酰亚胺结构的苯并环丁烯树脂的合成及其性能研究 | 第88-110页 |
| ·引言 | 第88-89页 |
| ·实验部分 | 第89-92页 |
| ·材料与试剂 | 第89-90页 |
| ·4-氨基苯并环丁烯(4-氨基BCB)的合成 | 第90页 |
| ·含硅氧烷结构的二元酸酐(单体2)的合成 | 第90-91页 |
| ·含硅氧烷及酰亚胺结构苯并环丁烯单体(单体3)的合成 | 第91页 |
| ·含硅氧烷及酰亚胺结构苯并环丁烯树脂的制备 | 第91-92页 |
| ·结构与性能表征 | 第92页 |
| ·结果与讨论 | 第92-105页 |
| ·单体合成与表征 | 第92-96页 |
| ·含硅氧烷及酰亚胺结构BCB单体的固化行为 | 第96-98页 |
| ·固化动力学 | 第98-100页 |
| ·热性能 | 第100-102页 |
| ·热机械性能 | 第102-103页 |
| ·BCB薄膜的性能 | 第103-104页 |
| ·耐水性 | 第104-105页 |
| ·结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 第五章 结论 | 第110-112页 |
| 博士期间研究成果 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
