机器视觉在直拉法单晶生长系统中的应用研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第9页 |
| ·国内外直拉式单晶炉的发展现状及趋势 | 第9-10页 |
| ·直拉单晶炉概述 | 第9-10页 |
| ·单晶炉发展现状 | 第10页 |
| ·直拉晶体直径测量技术 | 第10页 |
| ·机器视觉检测的优势 | 第10-11页 |
| ·论文研究的主要内容及结构安排 | 第11-14页 |
| ·主要内容 | 第11-12页 |
| ·结构安排 | 第12-14页 |
| 2 直拉单晶直径测量系统的硬件设计 | 第14-21页 |
| ·机器视觉系统基本构成 | 第14页 |
| ·系统整体方案设计 | 第14-15页 |
| ·CCD摄像头 | 第15-17页 |
| ·CCD摄像头的基本参数 | 第15-16页 |
| ·CCD摄像头的选择 | 第16-17页 |
| ·镜头 | 第17-18页 |
| ·镜头的工作原理 | 第17页 |
| ·镜头的选择 | 第17-18页 |
| ·图像采集卡 | 第18-20页 |
| ·工作过程 | 第18-19页 |
| ·图像采集卡的选择 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 图像的分析和直径计算 | 第21-44页 |
| ·晶体生长图像特点 | 第21-22页 |
| ·晶体生长图像数据的读取 | 第22页 |
| ·晶体生长图像的预处理 | 第22-30页 |
| ·读取区域 | 第23-24页 |
| ·图像灰度化 | 第24-25页 |
| ·灰度图像亮度调节 | 第25-26页 |
| ·中值滤波 | 第26-27页 |
| ·阈值分割 | 第27-30页 |
| ·图像边缘检测 | 第30-35页 |
| ·边缘检测原理 | 第30-31页 |
| ·常用的边缘检测算法 | 第31-34页 |
| ·本文采用的边缘检测算法 | 第34-35页 |
| ·晶体直径的测量算法 | 第35-41页 |
| ·晶体直径像素值的获取 | 第35-39页 |
| ·导流筒直径像素值的获取 | 第39-40页 |
| ·像素当量标定 | 第40-41页 |
| ·检测结果及误差分析 | 第41-43页 |
| ·误差原因分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 直拉单晶生长测径系统的软件设计 | 第44-52页 |
| ·系统软件开发平台 | 第44-46页 |
| ·VisualC++6.0简介 | 第44页 |
| ·OpenCV计算机视觉库 | 第44-45页 |
| ·OpenCV的编译安装 | 第45-46页 |
| ·系统软件设计流程 | 第46-51页 |
| ·图像采集模块的设计 | 第47-49页 |
| ·图像处理模块的设计 | 第49页 |
| ·直径检测模块的设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 总结与展望 | 第52-53页 |
| ·工作总结 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |