多晶硅氢化炉的多场仿真及其优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·多晶硅产业的发展现状与发展趋势 | 第10-11页 |
| ·国外多晶硅产业的发展现状与趋势 | 第10页 |
| ·国内多晶硅产业的发展现状与趋势 | 第10-11页 |
| ·本课题研究意义 | 第11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 文献综述 | 第13-23页 |
| ·多晶硅制备工艺概述 | 第13-18页 |
| ·多晶硅制备工艺的副产物处理 | 第18-20页 |
| ·热氢化 | 第18-19页 |
| ·冷氢化 | 第19页 |
| ·等离子体氢化 | 第19-20页 |
| ·几种氢化方式的比较 | 第20页 |
| ·本课题的国内外研究进展 | 第20-22页 |
| ·实验研究进展 | 第20-21页 |
| ·数值研究进展 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 多晶硅氢化炉的计算模型 | 第23-30页 |
| ·基本方程 | 第23-24页 |
| ·湍流模型 | 第24-25页 |
| ·化学反应模型 | 第25-27页 |
| ·辐射模型 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 4 多晶硅氢化炉的多场数值模拟 | 第30-40页 |
| ·多晶硅氢化炉的工作原理 | 第30页 |
| ·多晶硅氢化炉的几何模型与网格划分 | 第30-32页 |
| ·几何模型 | 第30-32页 |
| ·网格划分 | 第32页 |
| ·边界条件 | 第32-33页 |
| ·计算结果及分析 | 第33-38页 |
| ·流场结果及分析 | 第33-35页 |
| ·温度场结果及分析 | 第35-37页 |
| ·浓度场结果及分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 5 多晶硅氢化炉的优化 | 第40-55页 |
| ·进气摩尔比对多晶硅氢化炉的影响 | 第40-43页 |
| ·进气摩尔比对多晶硅氢化炉内浓度场影响 | 第40-42页 |
| ·进气摩尔比对多晶硅氢化炉转化率的影响 | 第42-43页 |
| ·进气速度对多晶硅氢化炉的影响 | 第43-45页 |
| ·进气速度对多晶硅氢化炉内流场的影响 | 第43-44页 |
| ·进气速度对多晶硅氢化炉转化率的影响 | 第44-45页 |
| ·加热功率对多晶硅氢化炉的影响 | 第45-48页 |
| ·加热功率对多晶硅氢化炉内温度场的影响 | 第46-47页 |
| ·加热功率对多晶硅氢化炉转化率的影响 | 第47-48页 |
| ·炉体高度对多晶硅氢化炉的影响 | 第48-54页 |
| ·炉体高度对多晶硅氢化炉内流场的影响 | 第49-50页 |
| ·炉体高度对多晶硅氢化炉内浓度场的影响 | 第50-51页 |
| ·炉体高度对多晶硅氢化炉内浓度场的影响 | 第51页 |
| ·参数优化的结果 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 全文总结 | 第55-57页 |
| ·主要研究内容与结论 | 第55-56页 |
| ·主要创新点 | 第56页 |
| ·进一步工作的建议 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
