激光薄膜损伤的声学判别方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究的背景与意义 | 第8-9页 |
| ·激光对薄膜损伤的作用方式及其阈值的计算方法 | 第9-11页 |
| ·薄膜损伤的定义及现有的主要判别方法 | 第11-14页 |
| ·薄膜损伤的定义 | 第11页 |
| ·国内外检测光学薄膜激光损伤的主要判别方法 | 第11-14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 薄膜损伤的发声机理 | 第16-25页 |
| ·薄膜对激光能量的热吸收 | 第16-17页 |
| ·薄膜热膨胀过程中的发声机理 | 第17-18页 |
| ·薄膜材料的气化及激光致声机理 | 第18-19页 |
| ·薄膜材料气化的物理机制 | 第18页 |
| ·气化过程中的发声机理 | 第18-19页 |
| ·激光作用下等离子体的产生及声波的形成 | 第19-24页 |
| ·等离子体的特性 | 第19页 |
| ·激光等离子体的产生机制 | 第19-20页 |
| ·等离子声波的形成 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 声波的采集与分析技术 | 第25-36页 |
| ·声波信号的采集 | 第25-29页 |
| ·传声器的类别与参数 | 第25-28页 |
| ·声波信号的模数转换 | 第28-29页 |
| ·声波分析的一般方法 | 第29-34页 |
| ·声波信号的时域分析 | 第30页 |
| ·声波信号的频域分析 | 第30-34页 |
| ·声波信号的声谱分析 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 4 声波测试装置及其调试 | 第36-42页 |
| ·激光薄膜损伤测试系统 | 第36-38页 |
| ·激光薄膜损伤测试系统的结构 | 第36-37页 |
| ·激光薄膜损伤测试系统的调试步骤 | 第37-38页 |
| ·激光薄膜损伤的声波采集系统 | 第38-41页 |
| ·激光薄膜损伤声波采集系统的设计方案 | 第38-41页 |
| ·实验步骤 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 声学法判别薄膜损伤实验结果及分析 | 第42-60页 |
| ·实验前首要解决的两个问题 | 第42-43页 |
| ·激光对同一薄膜的实验结果及分析 | 第43-53页 |
| ·激光对同一薄膜作用的实验结果 | 第43-45页 |
| ·实验结果分析 | 第45-46页 |
| ·薄膜损伤声波信号的曲线拟合 | 第46-53页 |
| ·激光作用下ZrO_2薄膜的实验结果及其分析 | 第53-59页 |
| ·ZrO_2薄膜的实验结果 | 第53-55页 |
| ·ZrO_2薄膜的实验结果分析 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 结论 | 第60-62页 |
| ·本文的主要工作 | 第60页 |
| ·对今后工作的建议 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
