纳升电喷雾中的牵引电极的优化仿真与实验
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·电喷雾质谱的发展 | 第9-10页 |
| ·电喷雾电离技术的发展 | 第10-11页 |
| ·电喷雾过程中静电透镜与聚焦结构的介绍 | 第11-18页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 2 牵引电极的COMSOL仿真模拟与结构优化 | 第20-32页 |
| ·静电场理论 | 第20-21页 |
| ·正交实验法与田口方法 | 第21-23页 |
| ·牵引电极的静电场等势线模拟 | 第23-25页 |
| ·正交实验法对牵引电极结构的优化 | 第25-30页 |
| ·牵引电极结构参数的选择 | 第25-26页 |
| ·正交实验法中对因素和水平的选择 | 第26-28页 |
| ·静电场等势线田口分析方法的结果分析 | 第28-30页 |
| ·最优牵引电极结构的COMSOL仿真模拟 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 基于MEMS技术的电极制造 | 第32-42页 |
| ·电极制造的基本思路介绍 | 第32-33页 |
| ·PMMA电极微电铸电铸基底的制造工艺 | 第33-37页 |
| ·PMMA基底的激光切割成型 | 第33-34页 |
| ·PMMA电极的清洗 | 第34-36页 |
| ·PMMA电极的金属薄膜蒸镀 | 第36-37页 |
| ·PMMA电极的微电铸工艺 | 第37-41页 |
| ·微电铸的基本原理 | 第37-38页 |
| ·微电铸镍的电铸液组成 | 第38页 |
| ·微电铸镍的具体实验工艺参数 | 第38-40页 |
| ·消除微电铸后电极表面金属层的褶皱 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 实验与结果分析 | 第42-53页 |
| ·纳升电喷雾实验平台的搭建 | 第42-46页 |
| ·实验中所用主要设备的介绍 | 第43-44页 |
| ·实验中电荷收集器的介绍及相关程序的说明 | 第44-45页 |
| ·实验的设计思想 | 第45-46页 |
| ·不同牵引电极电压条件下对比测试 | 第46-47页 |
| ·实验过程与结果 | 第46-47页 |
| ·实验结果讨论 | 第47页 |
| ·不同牵引电极厚度对比测试 | 第47-48页 |
| ·实验过程与结果 | 第47-48页 |
| ·实验结果讨论 | 第48页 |
| ·不同牵引电极内径开口对比测试 | 第48-50页 |
| ·实验过程与结果 | 第48-49页 |
| ·实验结果讨论 | 第49-50页 |
| ·其他辅助实验 | 第50页 |
| ·不同牵引电极到喷针距离对比测试 | 第50-51页 |
| ·实验过程与结果 | 第50-51页 |
| ·实验结果讨论 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录A 正交实验表 | 第58-59页 |
| 附件 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
