压电驱动型小型精密车床微进给工作台设计
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-12页 |
| ·精密及超精密加工技术概述 | 第10-11页 |
| ·精密及超精密加工技术发展现状~([6-10]) | 第11-12页 |
| ·微进给技术 | 第12-17页 |
| ·微进给技术研究现状 | 第12-14页 |
| ·基于压电驱动的微进给技术现状 | 第14-17页 |
| ·课题的主要内容及论文结构 | 第17-18页 |
| 2 微位移系统 | 第18-30页 |
| ·系统概述 | 第18页 |
| ·微进给工作台性能指标 | 第18-19页 |
| ·压电陶瓷驱动工作台 | 第19-26页 |
| ·压电陶瓷基础理论 | 第19-22页 |
| ·压电叠堆特性 | 第22-26页 |
| ·导向机构 | 第26-27页 |
| ·驱动电源与传感器 | 第27-28页 |
| ·位移传感器 | 第27页 |
| ·驱动电源 | 第27-28页 |
| ·小结 | 第28-30页 |
| 3 微位移放大机构设计与分析 | 第30-50页 |
| ·柔性铰链 | 第30-32页 |
| ·柔性铰链概述 | 第30-31页 |
| ·柔性铰链类型 | 第31-32页 |
| ·柔性铰链的特点 | 第32页 |
| ·位移放大原理 | 第32-35页 |
| ·微位移放大机构设计 | 第35-42页 |
| ·单轴直圆柔性铰链的刚度计算 | 第36-38页 |
| ·放大机构材料选择 | 第38页 |
| ·放大机构模型建立 | 第38-42页 |
| ·放大机构有限元分析 | 第42-48页 |
| ·模型建立和网格划分 | 第42-43页 |
| ·静力学分析 | 第43-45页 |
| ·放大机构最大应力分析 | 第45页 |
| ·优化设计 | 第45-48页 |
| ·两种放大结构特点对比 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 4 微进给工作台控制系统研究 | 第50-60页 |
| ·控制系统总体结构 | 第50-51页 |
| ·压电驱动器建模及控制 | 第51-54页 |
| ·压电驱动器建模 | 第51-52页 |
| ·控制方法 | 第52-54页 |
| ·闭环控制系统 | 第54-59页 |
| ·功能模块及特性研究 | 第54-58页 |
| ·软件程序设计 | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 5 微进给工作台实验测试 | 第60-66页 |
| ·微位移放大机构的制作 | 第60页 |
| ·微进给平台性能测试 | 第60-63页 |
| ·实验测试系统搭建 | 第60-61页 |
| ·压电叠堆性能测试 | 第61-62页 |
| ·微进给平台性能测试 | 第62-63页 |
| ·实验结果及分析 | 第63-64页 |
| ·本章小节 | 第64-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·研究结果 | 第66页 |
| ·研究展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-76页 |
| 作者简历 | 第76-78页 |
| 学位论文数据集 | 第78页 |
