| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·ZnO 的基本性质及晶体结构 | 第11-13页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第11-12页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·ZnO 的能带结构 | 第13-14页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·磁控溅射法 | 第14页 |
| ·喷雾热解法 | 第14-15页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第15页 |
| ·化学气相沉积法 | 第15页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| ·电化学沉积法 | 第16页 |
| ·溶剂热法 | 第16-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验方法 | 第18-24页 |
| ·实验材料 | 第18-19页 |
| ·实验药品 | 第18页 |
| ·实验设备 | 第18-19页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第19页 |
| ·薄膜表征 | 第19-24页 |
| ·紫外-可见光光谱(UV-Vis) | 第19-20页 |
| ·荧光光谱（PL） | 第20-21页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第21-22页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第22-24页 |
| 第3章 不同溶剂制备的掺铝 ZnO 薄膜性能表征 | 第24-58页 |
| ·乙二醇甲醚作为溶剂 | 第24-34页 |
| ·沉积时间对 AZO 薄膜性能的影响 | 第24-27页 |
| ·温度的变化对 AZO 薄膜的影响 | 第27-30页 |
| ·前驱液浓度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第30-32页 |
| ·掺铝浓度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第32-34页 |
| ·乙醇作为溶剂 | 第34-51页 |
| ·生长温度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第34-38页 |
| ·沉积时间对 AZO 薄膜的影响 | 第38-42页 |
| ·溶胶浓度对 AZO 膜性能的影响 | 第42-44页 |
| ·掺铝浓度比对 AZO 膜性能的影响 | 第44-47页 |
| ·试验的方差分析 | 第47-51页 |
| ·两种溶剂最优条件下的 AZO 薄膜性能对比 | 第51-53页 |
| ·电学性能对比 | 第51页 |
| ·光学性能对比 | 第51-52页 |
| ·X 射线衍射对比 | 第52-53页 |
| ·原子力显微镜图对比 | 第53页 |
| ·相同条件下不同溶剂对 AZO 薄膜性能影响 | 第53-56页 |
| ·电学性能 | 第53页 |
| ·光学性能对比 | 第53-55页 |
| ·X 射线衍射图谱对比 | 第55页 |
| ·原子力显微镜图对比 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 溶剂热法在掺铝 ZnO 涂层上制备 AZO 薄膜及其性能的研究 | 第58-75页 |
| ·温度对 AZO 透明导电薄膜性能的影响 | 第58-64页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第58-59页 |
| ·薄膜厚度和晶粒尺寸的变化 | 第59-60页 |
| ·原子力分析 | 第60-62页 |
| ·不同反应温度下薄膜光电性能的变化趋势 | 第62-63页 |
| ·薄膜光学带隙分析 | 第63页 |
| ·荧光光谱分析 | 第63-64页 |
| ·沉积时间对 AZO 透明导电薄膜性能的影响 | 第64-68页 |
| ·紫外-可见分析 | 第64-65页 |
| ·薄膜方块电阻和平均透过率 | 第65页 |
| ·荧光光谱分析 | 第65-66页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第66页 |
| ·原子力分析 | 第66-68页 |
| ·前驱液浓度对 AZO 薄膜性能的影响 | 第68-71页 |
| ·电学性能分析 | 第68页 |
| ·光学性能分析 | 第68-69页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第69-70页 |
| ·薄膜厚度 | 第70-71页 |
| ·不同掺铝原子比对 ZnO 薄膜的影响 | 第71-73页 |
| ·光电性能分析 | 第71-72页 |
| ·薄膜光致发光分析 | 第72页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 作者简介 | 第82页 |