压电驱动原子力显微镜的运动控制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·研究现状 | 第8-10页 |
| ·对原子力显微镜纳米操作器的建模 | 第8-9页 |
| ·建立压电驱动器的模型 | 第9-10页 |
| ·控制方法的设计 | 第10页 |
| ·论文结构 | 第10-13页 |
| 第二章 原子力显微镜的建模 | 第13-23页 |
| ·顶端和样品的模型 | 第13-15页 |
| ·顶端-样品间的相互作用力 | 第15-17页 |
| ·样品与基底的摩擦力 | 第17-18页 |
| ·仿真 | 第18-23页 |
| 第三章 压电驱动原子力显微镜的模型 | 第23-29页 |
| ·迟滞效应 | 第23-26页 |
| ·压电驱动器的模型 | 第26-27页 |
| ·建立压电驱动原子力显微镜的模型 | 第27-29页 |
| 第四章 控制器的设计 | 第29-45页 |
| ·理论基础 | 第29-31页 |
| ·位置运动PD控制 | 第31-34页 |
| ·设计思路 | 第31-32页 |
| ·位置运动PD控制器设计 | 第32页 |
| ·闭环系统分析 | 第32-34页 |
| ·位置运动饱和PD控制 | 第34-38页 |
| ·引入饱和项的原因 | 第34页 |
| ·设计思路 | 第34-35页 |
| ·饱和PD控制器设计 | 第35-36页 |
| ·饱和PD控制闭环系统分析 | 第36-38页 |
| ·基于反馈线性化的轨迹跟踪控制 | 第38-41页 |
| ·引出问题 | 第38页 |
| ·控制器设计与分析的形成 | 第38-39页 |
| ·闭环系统分析 | 第39-41页 |
| ·自适应轨迹跟踪控制 | 第41-45页 |
| ·引出问题 | 第41页 |
| ·自适应轨迹跟踪控制 | 第41-43页 |
| ·闭环系统分析 | 第43-45页 |
| 第五章 仿真结果 | 第45-57页 |
| ·位置运动PD控制 | 第45-47页 |
| ·位置运动饱和PD控制 | 第47-49页 |
| ·基于反馈线性化的轨迹跟踪控制 | 第49-52页 |
| ·自适应轨迹跟踪控制 | 第52-57页 |
| 第六章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
