| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| ·物理气相沉积（PVD） | 第14-17页 |
| ·物理气相沉积技术概述 | 第14-15页 |
| ·PVD 技术的特点及分类 | 第15-17页 |
| ·国内外PVD 涂层技术的发展 | 第17页 |
| ·类金刚石薄膜(DLC)的研究进展 | 第17-19页 |
| ·DLC 薄膜的特点及PVD 制备 | 第17-18页 |
| ·DLC 薄膜的摩擦学特性 | 第18-19页 |
| ·TiAlN 薄膜的研究进展 | 第19-21页 |
| ·TiAlN 薄膜的特点及PVD 制备 | 第19-20页 |
| ·TiAlN 薄膜的摩擦学特性 | 第20-21页 |
| ·CrN 薄膜的研究进展 | 第21-22页 |
| ·CrN 薄膜的特点及制备 | 第21页 |
| ·CrN 薄膜的摩擦学特性 | 第21-22页 |
| ·本文的研究目的和主要内容 | 第22-24页 |
| ·本文的研究目的 | 第22-23页 |
| ·本文的主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 试验方法 | 第24-33页 |
| ·实验方案 | 第24页 |
| ·实验材料 | 第24-26页 |
| ·试样及靶材 | 第24-25页 |
| ·对磨球试样材料参数 | 第25页 |
| ·水溶液的配制 | 第25-26页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第26-27页 |
| ·DLC 薄膜的制备 | 第26页 |
| ·CrN 薄膜和TiAlN 薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·薄膜的表征 | 第27-29页 |
| ·金相显微镜 | 第27-28页 |
| ·X-射线衍射仪器（XRD，X-ray diffraction ） | 第28页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM，scanning electronic microscope） | 第28-29页 |
| ·表面粗糙度的测量 | 第29页 |
| ·薄膜的摩擦磨损试验 | 第29-32页 |
| ·薄膜摩擦磨损试验参数及环境 | 第30-31页 |
| ·对磨球体积计算方法 | 第31页 |
| ·盘磨损体积计算方法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 DLC 薄膜的水润滑摩擦学特性研究 | 第33-51页 |
| ·DLC 薄膜的表面形貌 | 第33页 |
| ·不同小球与DLC 薄膜对磨的水润滑摩擦磨损研究 | 第33-37页 |
| ·不同小球与DLC 薄膜对磨的水润滑摩擦行为 | 第33-34页 |
| ·不同小球及DLC 薄膜的磨损率 | 第34-35页 |
| ·不同对磨球下DLC 薄膜磨痕三维形貌及截面形貌 | 第35-36页 |
| ·不同对磨球磨痕光学图及薄膜磨痕扫描电镜 | 第36页 |
| ·不同小球与DLC 薄膜水润滑摩擦磨损分析 | 第36-37页 |
| ·不同水溶液中DLC/SiC 对磨副的摩擦学特性研究 | 第37-41页 |
| ·不同水溶液中DLC/SiC 对磨副的摩擦行为 | 第37-38页 |
| ·不同水溶液中小球和薄膜的磨损率 | 第38页 |
| ·不同水溶液中薄膜磨痕截面形貌 | 第38-39页 |
| ·不同溶液中小球磨痕光学图及薄膜扫描电镜图 | 第39-40页 |
| ·不同水溶液中DLC/SiC 对磨副摩擦学特性分析及讨论 | 第40-41页 |
| ·摩擦参数对DLC 薄膜的水润滑摩擦磨损影响 | 第41-50页 |
| ·不同摩擦参数下DLC 薄膜与SU5440C 和SUJ2 小球对磨的摩擦行为 | 第41-42页 |
| ·SU5440C 和SUJ2 小球及DLC 薄膜磨损率 | 第42-43页 |
| ·摩擦系数和薄膜磨损率的关系 | 第43-44页 |
| ·不同摩擦参数下DLC 薄膜磨痕三维形貌及截面形貌 | 第44-47页 |
| ·DLC 薄膜磨痕宽度和深度 | 第47页 |
| ·不同摩擦参数下小球磨痕光学图及薄膜磨痕扫描电镜 | 第47-49页 |
| ·DLC/SU5440C 和DLC/SUJ2 对磨副在不同参数下的摩擦磨损分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 TiAlN 薄膜的水润滑摩擦学特性研究 | 第51-71页 |
| ·TiAlN 薄膜表征 | 第51-52页 |
| ·TiAlN 薄膜形貌 | 第51页 |
| ·TiAlN 薄膜成分分析 | 第51-52页 |
| ·不同水溶液中TiAlN/SiC 对磨副的摩擦学特性研究 | 第52-56页 |
| ·不同水溶液中TiAlN/SiC 对磨副的摩擦行为 | 第52页 |
| ·不同水溶液中小球和薄膜的磨损率 | 第52-53页 |
| ·不同水溶液中薄膜磨痕截面形貌 | 第53-54页 |
| ·不同溶液中小球磨痕光学图和薄膜扫描电镜及EDS 图谱 | 第54-55页 |
| ·不同水溶液中TiAlN/SiC 对磨副摩擦学特性分析与讨论 | 第55-56页 |
| ·去离子水中不同摩擦参数下 TiAlN/SiC 对磨副的摩擦学特性 | 第56-67页 |
| ·去离子水中不同载荷不同速率下TiAlN/SiC 对磨副的摩擦行为 | 第56-57页 |
| ·去离子水中不同载荷和速率下小球和薄膜磨损率 | 第57-58页 |
| ·TiAlN 薄膜在去离子水中的Stribeck 曲线以及摩擦系数和磨损率的关系 | 第58页 |
| ·去离子水中不同载荷和速率下薄膜磨痕三维形貌及截面形貌 | 第58-63页 |
| ·去离子水中不同载荷和速率下薄膜磨痕宽度和深度变化 | 第63页 |
| ·去离子水中不同载荷和速率下小球磨痕光学图和薄膜磨痕扫描电镜及EDS | 第63-66页 |
| ·在去离子水中不同载荷和速率下TiAlN/SiC 对磨副摩擦学特性的分析及讨论 | 第66-67页 |
| ·去离子水中不同滑移距离下 TiAlN/SiC 对磨副的摩擦学特性 | 第67-69页 |
| ·去离子水中不同滑移距离小球和薄膜磨损量和磨损率 | 第67-68页 |
| ·去离子水中不同滑移距离小球磨痕光学图和薄膜磨痕扫描电镜图及EDS | 第68-69页 |
| ·去离子水中不同滑动距离下TiAlN/SiC 对磨副磨损机制的分析及讨论 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 氮化铬薄膜的水润滑摩擦学特性 | 第71-77页 |
| ·CrN 薄膜表征 | 第71-72页 |
| ·CrN 薄膜扫描电镜及EDS 分析 | 第71页 |
| ·CrN 薄膜成分分析 | 第71-72页 |
| ·不同水溶液中CrN/SiC 对磨副的摩擦学特性研究 | 第72-76页 |
| ·不同水溶液中CrN/SiC 对磨副的摩擦学特性研究 | 第72-73页 |
| ·不同水溶液中小球和薄膜的磨损率 | 第73页 |
| ·不同水溶液中薄膜磨痕三维形貌和截面形貌 | 第73-74页 |
| ·不同溶液中小球磨痕光学图和薄膜扫描电镜及EDS 图谱 | 第74-75页 |
| ·不同水溶液中 CrN/SiC 对磨副摩擦学特性分析与讨论 | 第75-76页 |
| ·本章总结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-80页 |
| ·本文工作总结 | 第77-78页 |
| ·展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第85页 |
