| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-31页 |
| ·课题背景介绍 | 第12-13页 |
| ·白光干涉在干涉测量领域的应用 | 第13-28页 |
| ·白光干涉在双折射晶体位相延迟量测量中的应用 | 第13-17页 |
| ·白光干涉在微观表面形貌测量中的应用 | 第17-28页 |
| ·课题来源 | 第28-29页 |
| ·本论文的主要工作和内容安排 | 第29-31页 |
| 2 基于白光干涉色的晶体延迟量的测试研究 | 第31-55页 |
| ·偏振干涉原理 | 第31-33页 |
| ·基于白光干涉色的延迟量测量法 | 第33-39页 |
| ·白光干涉色的产生和仿真 | 第33-36页 |
| ·利用白光干涉色的色调值测量波片延迟量的方法 | 第36-37页 |
| ·利用白光干涉色的色调值测量光学玻璃内应力方法 | 第37-39页 |
| ·利用分光光度计标定Soleil-Babinet补偿器的方法 | 第39-44页 |
| ·利用分光光度计测量波片延迟量的原理 | 第39-40页 |
| ·波片光轴方向的确定 | 第40-41页 |
| ·标定Soleil-Babinet补偿器的方法 | 第41-44页 |
| ·标定Soleil-Babinet补偿器的实验及误差分析 | 第44-47页 |
| ·Soleil-Babinet的标定实验 | 第44-45页 |
| ·误差分析 | 第45-47页 |
| ·利用白光干涉色的色调值测量延迟量的实验及分析 | 第47-54页 |
| ·利用白光干涉色的色调值测量零级波片的延迟量 | 第47-49页 |
| ·利用白光干涉色的色调值测量玻璃内应力 | 第49-51页 |
| ·数据及误差分析 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 3 白光干涉信号的定位原理 | 第55-63页 |
| ·白光迈克尔逊干涉仪原理 | 第55-57页 |
| ·白光干涉信号的定位算法 | 第57-60页 |
| ·傅里叶变换提取白光干涉包络的方法 | 第57-58页 |
| ·空间频域算法 | 第58-60页 |
| ·算法分析 | 第60-62页 |
| ·采样点个数对计算零光程差位置的影响 | 第60页 |
| ·采样长度对计算零光程差位置的影响 | 第60-61页 |
| ·不对称采样对计算零光程差位置的影响 | 第61页 |
| ·不等间隔采样对计算零光程差位置的影响 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 4 基于白光迈克尔逊干涉仪的晶体延迟量的测试研究 | 第63-83页 |
| ·利用白光迈克尔逊干涉仪测量波片延迟量的方法 | 第63-67页 |
| ·多级波片延迟量的测量原理 | 第63-65页 |
| ·低级次波片延迟量的测量方法 | 第65-67页 |
| ·利用白光迈克尔逊干涉仪测量延迟量的实验 | 第67-77页 |
| ·多级波片延迟量的测量 | 第67-72页 |
| ·低级次波片延迟量测量 | 第72-75页 |
| ·光学玻璃的应力测量 | 第75-77页 |
| ·分析 | 第77-82页 |
| ·干涉图的对比度分析 | 第77-79页 |
| ·TM与RM的夹角对测量的影响 | 第79-80页 |
| ·多级波片的延迟量测量范围 | 第80-81页 |
| ·多级波片光轴和被测低级次波片光轴夹角对测量的影响 | 第81页 |
| ·CCD分辨率对延迟量测量精度的影响 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 基于白光干涉的微观表面形貌的测试研究 | 第83-105页 |
| ·白光干涉垂直扫描系统测量表面轮廓的原理 | 第83-88页 |
| ·双光束显微干涉的理论模型 | 第83-87页 |
| ·利用白光干涉垂直扫描获得表面形貌的方法 | 第87-88页 |
| ·数值孔径的校正 | 第88页 |
| ·白光干涉垂直扫描系统的构建及实验研究 | 第88-100页 |
| ·在Linnik干涉显微镜上构建白光干涉垂直扫描系统 | 第89-90页 |
| ·在Mirau干涉显微镜上构建白光干涉垂直扫描系统 | 第90-92页 |
| ·PZT位移量的标定 | 第92-96页 |
| ·测量微观表面形貌的实验研究 | 第96-100页 |
| ·分析 | 第100-104页 |
| ·采样个数对计算零光程差位置的影响 | 第100-101页 |
| ·采样长度数对计算零光程差位置的影响 | 第101-102页 |
| ·噪声对测量的影响 | 第102-103页 |
| ·PZT位移非线性对测量的影响 | 第103页 |
| ·不对称采样对计算零光程差位置的影响 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 6 用短相干光源测量平行平板玻璃的光学均匀性. | 第105-119页 |
| ·干涉法测量光学均匀性的原理 | 第105-107页 |
| ·折射率液法 | 第105-106页 |
| ·绝对测量法 | 第106-107页 |
| ·利用改进的绝对测量法测量光学均匀性的方法 | 第107-115页 |
| ·改进的绝对测量法 | 第108-109页 |
| ·基于空域滤波的虚光栅移相莫尔条纹法 | 第109-115页 |
| ·实验 | 第115-116页 |
| ·分析 | 第116-118页 |
| ·测量精度 | 第116页 |
| ·钠光谱宽对测量的影响 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 7 全文总结 | 第119-122页 |
| ·本文所做工作 | 第119-120页 |
| ·本文的创新点 | 第120-121页 |
| ·有待研究和解决的问题 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 附录 | 第131页 |
