| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·ZnO薄膜的基本性质 | 第7-9页 |
| ·ZnO薄膜的研究现状 | 第9-14页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第14-15页 |
| ·论文的研究内容及意义 | 第15-17页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备技术及其表征方法 | 第17-24页 |
| ·ZnO薄膜的主要制备方法 | 第17-19页 |
| ·ZnO薄膜的表征 | 第19-24页 |
| 第三章 ZnO薄膜的制备及其不同工艺参数的研究 | 第24-40页 |
| ·磁控溅射 | 第24-27页 |
| ·Si衬底上ZnO薄膜的制备及其工艺参数的研究 | 第27-29页 |
| ·生长工艺参数对ZnO薄膜的影响 | 第29-36页 |
| ·在Si上引入光刻后制备的ZnO薄膜的结构分析 | 第36-40页 |
| 第四章 ZnO薄膜的光电特性研究 | 第40-48页 |
| ·影响ZnO薄膜发光特性的因素 | 第40-41页 |
| ·Si衬底上制备的ZnO薄膜的光电特性 | 第41-46页 |
| ·在Si上引入光刻后制备的ZnO薄膜的光电特性分析 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |