| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·等离子体鞘层的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·双频容性耦合等离子体鞘层的工作原理 | 第10-12页 |
| ·双频容性耦合等离子体鞘层的研究现状 | 第12-15页 |
| ·本文的研究内容和结构安排 | 第15-16页 |
| 第二章 Ar等离子体鞘层特性的一维流体力学模拟 | 第16-27页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·理论模型 | 第16-19页 |
| ·数值方法 | 第19-21页 |
| ·计算结果及讨论 | 第21-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 Ar等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟 | 第27-41页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·理论模型 | 第27-31页 |
| ·数值方法 | 第31页 |
| ·计算结果与讨论 | 第31-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 结论与展望 | 第41-43页 |
| ·本文主要结论 | 第41页 |
| ·对未来工作的展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |