AFM恒力模式下倾角和摩擦力对测量结果影响的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-25页 |
| ·课题背景、来源与研究意义 | 第15-20页 |
| ·纳米科技和纳米测量 | 第15-17页 |
| ·原子力显微镜及其用于纳米测量 | 第17-20页 |
| ·影响AFM 测量的因素 | 第20-24页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 摩擦力和倾角影响测量的理论分析 | 第25-39页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·针尖-样本表面间的作用力 | 第25-28页 |
| ·vdW 力 | 第26-28页 |
| ·摩擦力 | 第28页 |
| ·悬臂梁形变分析 | 第28-34页 |
| ·矩形悬臂梁在法向力作用下的形变 | 第28-30页 |
| ·矩形悬臂梁在切向力作用下的形变 | 第30-31页 |
| ·三角形悬臂梁在法向力作用下的形变 | 第31-32页 |
| ·三角形悬臂梁在切向力作用下的形变 | 第32-34页 |
| ·恒力模式下的测量结果分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 摩擦力和倾角引起的误差分析及仿真 | 第39-52页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·恒力模式下的测量误差分析 | 第39-40页 |
| ·摩擦力对测量结果的影响 | 第40-42页 |
| ·倾角对测量结果的影响 | 第42-51页 |
| ·测量的死点和死区 | 第43-44页 |
| ·倾角产生的测量误差 | 第44-46页 |
| ·半圆形样本形貌测量的仿真 | 第46-49页 |
| ·正弦波样本形貌测量的仿真 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 EIIAF 模式的研究 | 第52-69页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·悬臂梁横向受力分析 | 第52-53页 |
| ·EIIAF 模式的工作原理 | 第53-61页 |
| ·测量的特殊点和特殊角 | 第61-63页 |
| ·扩展的工作模式 | 第63-67页 |
| ·横向恒高模式 | 第63-64页 |
| ·补偿模式 | 第64-67页 |
| ·扩展工作模式的特点 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第5章 EIIAF 模式误差分析 | 第69-78页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·形貌测量误差 | 第69-70页 |
| ·vdW 力误差 | 第70-77页 |
| ·EIIAF 模式下的vdW 力误差 | 第70页 |
| ·扩展模式的不可测点和不可测区 | 第70-72页 |
| ·扩展模式的vdW 力误差 | 第72-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第6章 实验验证及结果分析 | 第78-89页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·实验设备 | 第78-81页 |
| ·实验系统构成 | 第78-80页 |
| ·探针 | 第80页 |
| ·仪器改造 | 第80-81页 |
| ·摩擦力对测量影响的分析 | 第81-84页 |
| ·倾角对测量影响的分析 | 第84-88页 |
| ·样本 | 第84-85页 |
| ·恒力模式下测量结果的分析 | 第85-86页 |
| ·EIIAF 模式下测量结果的分析 | 第86-87页 |
| ·EIIAF 模式下的测量误差分析 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 结论 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-100页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 个人简历 | 第103页 |
