极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| ·研究背景 | 第12-22页 |
| ·要解决的主要问题 | 第22-23页 |
| ·研究目的 | 第23页 |
| ·论文的主要工作 | 第23-26页 |
| 第2章 相位提取算法研究及误差来源分析 | 第26-59页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·相移干涉原理及常用算法 | 第26-33页 |
| ·相位提取算法的设计 | 第33-40页 |
| ·误差来源分析及相位提取算法选取 | 第40-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第3章 相位解包裹算法研究 | 第59-71页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·相位解包裹原理及常用算法 | 第59-63页 |
| ·区域增长法 | 第63-68页 |
| ·干涉图处理实例 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 波前参考源标定算法研究 | 第71-86页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·参考波前的绝对标定方法 | 第71-76页 |
| ·标定算法的设计 | 第76-82页 |
| ·标定算法的模拟及精度分析 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 方案优化设计及实验系统建立 | 第86-101页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·方案优化设计 | 第86-95页 |
| ·实验系统建立 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第6章 实验数据处理 | 第101-111页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·实验数据处理与分析 | 第101-109页 |
| ·本章小结 | 第109-111页 |
| 第7章 总结与展望 | 第111-114页 |
| ·本文的研究总结 | 第111-112页 |
| ·研究展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-126页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第126-127页 |
| 指导教师及作者简介 | 第127-128页 |
| 致谢 | 第128页 |
