| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-38页 |
| ·选题意义 | 第15-16页 |
| ·钎料凸点制作技术 | 第16-19页 |
| ·新的熔滴直接凸点制作方法 | 第19-20页 |
| ·钎料与焊盘界面反应研究 | 第20-32页 |
| ·SnPb 钎料/Cu 焊盘界面反应研究现状 | 第21-22页 |
| ·SnPb 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面反应研究现状 | 第22-26页 |
| ·无铅钎料(SnAgCu)与焊盘界面反应研究现状 | 第26-32页 |
| ·金属间化合物生长动力学研究现状 | 第32-36页 |
| ·液固反应条件下金属间化合物生长动力学 | 第32-34页 |
| ·固态反应条件下金属间化合物生长动力学 | 第34-36页 |
| ·凸点可靠性剪切实验评价方法 | 第36-37页 |
| ·本文研究内容 | 第37-38页 |
| 第2章 钎料熔滴凸点制作工艺 | 第38-48页 |
| ·论文研究过程 | 第38页 |
| ·试验材料 | 第38-40页 |
| ·试验方法及设备 | 第40-41页 |
| ·凸点制作设备及原理 | 第40页 |
| ·钎料凸点剪切强度测试 | 第40-41页 |
| ·SEM 及EDX 分析 | 第41页 |
| ·钎料熔滴凸点制作工艺参数 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第3章 钎料熔滴与焊盘瞬间接触液固反应 | 第48-76页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·SnPb 钎料熔滴与Au/Ni/Cu 焊盘界面反应 | 第48-54页 |
| ·初始温度对熔滴与焊盘液固反应影响 | 第48-51页 |
| ·焊盘预热对熔滴与焊盘液固反应影响 | 第51-53页 |
| ·焊盘预热对MSDB 凸点剪切载荷的影响 | 第53-54页 |
| ·钎料熔滴凸点制作与重熔凸点制作比较 | 第54-57页 |
| ·钎料熔滴与焊盘传热过程分析 | 第57-64页 |
| ·有限元模型建立 | 第57-59页 |
| ·凸点形成过程中温度场分布 | 第59-61页 |
| ·凸点/焊盘界面温度梯度分布 | 第61-62页 |
| ·焊盘未预热与预热条件下温度场比较 | 第62-64页 |
| ·钎料熔滴/焊盘界面溶解过程分析 | 第64-70页 |
| ·Au 在钎料熔滴中的溶解速度推算 | 第64-66页 |
| ·焊盘在钎料熔滴中溶解方程的建立 | 第66-70页 |
| ·SnAgCu 钎料熔滴与Au/Ni/Cu 焊盘界面反应 | 第70-72页 |
| ·SnPb 钎料熔滴与Cu 焊盘界面反应 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第4章 再次重熔液固反应过程界面组织演变 | 第76-96页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·凸点再次重熔实验过程 | 第76-77页 |
| ·SnPb 凸点再重熔液固反应界面组织 | 第77-85页 |
| ·共晶SnPb 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面组织演变 | 第77-80页 |
| ·Au-Sn 化合物在SnPb 钎料基体中的分布 | 第80-85页 |
| ·SnAgCu 凸点再重熔液固反应界面组织 | 第85-90页 |
| ·共晶SnAgCu 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面组织演变 | 第85-88页 |
| ·Au-Sn 化合物在SnAgCu 钎料基体中的分布 | 第88-90页 |
| ·再重熔过程界面金属间化合物生长动力学 | 第90-92页 |
| ·再重熔后凸点剪切强度的测试与分析 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 凸点/焊盘界面组织固态反应演变 | 第96-125页 |
| ·引言 | 第96页 |
| ·老化实验过程 | 第96-97页 |
| ·MSDB 凸点直接老化界面固态反应研究 | 第97-110页 |
| ·SnPb 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面固态反应 | 第97-102页 |
| ·SnPb 钎料/Cu 焊盘界面固态反应 | 第102-103页 |
| ·SnPb 钎料/Cu 焊盘反应过程分析 | 第103-106页 |
| ·SnAgCu 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面固态反应 | 第106-110页 |
| ·再重熔后老化凸点/焊盘界面组织演变 | 第110-117页 |
| ·SnPb 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面组织演变 | 第110-114页 |
| ·SnAgCu 钎料/Au/Ni/Cu 焊盘界面组织演变 | 第114-117页 |
| ·再重熔后老化条件下界面金属间化合物生长动力学 | 第117-121页 |
| ·老化过程中界面化合物厚度变化规律 | 第117-119页 |
| ·(Au,Ni)5114 化合物重新沉积动力学分析 | 第119-121页 |
| ·再重熔后老化凸点剪切强度的测试与分析 | 第121-123页 |
| ·本章小结 | 第123-125页 |
| 结论 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-139页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第139-141页 |
| 哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明 | 第141-142页 |
| 哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书 | 第142页 |
| 哈尔滨工业大学博士学位涉密论文管理 | 第142-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 个人简历 | 第144页 |
