| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·国内外高重复频率TEA CO_2 激光器的发展动态 | 第8-10页 |
| ·脉冲TEA CO_2 激光器的激光损伤特性 | 第10-13页 |
| ·本论文研究的内容及意义 | 第13-15页 |
| 2 TEA CO_2 激光器的膜系设计 | 第15-35页 |
| ·光学薄膜概述 | 第15-21页 |
| ·高反射膜膜系设计 | 第21-27页 |
| ·全透膜及部分反射膜的设计 | 第27-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 3 薄膜制备及测试 | 第35-50页 |
| ·镀膜设备及工艺 | 第35-39页 |
| ·膜厚监控方法的研究 | 第39-45页 |
| ·薄膜镀制及测试结果 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 4 高能激光辐照下的薄膜损伤研究 | 第50-63页 |
| ·高能激光与光学薄膜相互作用机理 | 第50-54页 |
| ·单脉冲激光引起的膜层热力耦合行为 | 第54-59页 |
| ·多脉冲激光对超薄水冷金属镜引起的热畸变 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 5 全文总结 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第71页 |