共光路偏振光学系统测量表面粗糙度方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·表面粗糙度光学测量方法的意义 | 第9页 |
| ·课题的国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·表面粗糙度测量的发展趋势 | 第12页 |
| ·本论文选题的意义及方案 | 第12-14页 |
| 第2章 表面粗糙度概述 | 第14-23页 |
| ·表面粗糙度的定义 | 第14-15页 |
| ·表面粗糙度 | 第14页 |
| ·表面粗糙度与形状误差、表面波度的关系 | 第14-15页 |
| ·表面粗糙度的评定参数 | 第15-19页 |
| ·与微观不平度高度有关的参数 | 第15-17页 |
| ·与微观不平度间距有关的参数 | 第17-18页 |
| ·与微观不平度形状特性有关的参数 | 第18-19页 |
| ·表面粗糙度的测量基准 | 第19页 |
| ·表面粗糙度测量中的一些术语 | 第19-21页 |
| ·测量方向 | 第19-20页 |
| ·取样长度 | 第20页 |
| ·评定长度 | 第20-21页 |
| ·表面粗糙度测量的基本原则 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 表面粗糙度测量原理及方法 | 第23-38页 |
| ·表面粗糙度测量方法分类 | 第23-26页 |
| ·表面粗糙度的测量方式 | 第26-28页 |
| ·接触式测量 | 第28页 |
| ·非接触式测量原理及方式 | 第28-37页 |
| ·光学散射法测量表面粗糙度 | 第29-31页 |
| ·光学散斑法测量表面粗糙度 | 第31-34页 |
| ·光学聚焦法测量表面粗糙度 | 第34-35页 |
| ·光学干涉法测量表面粗糙度 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 共光路偏振光学系统测量表面粗糙度 | 第38-52页 |
| ·表面粗糙度测量的光路原理图 | 第38页 |
| ·系统的测量原理 | 第38-39页 |
| ·理论推导 | 第39-46页 |
| ·相位探测 | 第39-44页 |
| ·表面微不平值 | 第44-45页 |
| ·表面粗糙度参数R_a | 第45-46页 |
| ·不确定度分析 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 实验数据及处理 | 第52-65页 |
| ·实验装置图 | 第52页 |
| ·器件的选择与使用 | 第52-57页 |
| ·光源的选择与使用 | 第52-54页 |
| ·起偏器的起偏角测定 | 第54-55页 |
| ·偏振分光镜的选择与使用 | 第55-56页 |
| ·Wollaston棱镜的选择与使用 | 第56页 |
| ·平面反射镜、透镜和物镜的选择与使用 | 第56-57页 |
| ·实验数据采集与数据处理 | 第57-64页 |
| ·数据采集 | 第57页 |
| ·数据计算与处理 | 第57-61页 |
| ·试验结果分析与讨论 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
