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电化学原子层外延制备Bi2Te3纳米热电薄膜的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 绪论第8-19页
   ·热电效应及基本原理第8-11页
   ·热电材料的研究进展第11-15页
   ·课题来源、研究意义、技术路线第15-19页
2 电化学原子层外延技术第19-26页
   ·电化学原子层外延(ECALE)技术的基本原理第19-21页
   ·电化学原子层外延(ECALE)技术的特点第21-22页
   ·影响电化学原子层外延(ECALE)过程的关键要素第22-23页
   ·ECALE 技术在新材料中的应用进展及展望第23-26页
3 BI_2TE_3 热电薄膜在多晶AU 上的ECALE 制备第26-39页
   ·实验第26-27页
   ·BI_2TE_3 薄膜沉积第27-33页
   ·XRD 分析第33-34页
   ·EDX 和交替沉积的时间-电流图分析第34-35页
   ·FESEM 观察第35-37页
   ·结论第37-39页
4 欠电位沉积的动力学研究第39-48页
   ·实验部分第39-41页
   ·结果与讨论第41-47页
   ·结论第47-48页
5 全文结论第48-50页
   ·结论第48-49页
   ·进一步的工作第49-50页
致谢第50-51页
参考文献第51-56页
附录 攻读硕士学位期间发表和待发表论文第56页

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