| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 文献综述 | 第7-27页 |
| ·湿度和湿敏元件 | 第7-19页 |
| ·湿度及其表示方法 | 第7-8页 |
| ·测量湿度的意义 | 第8-9页 |
| ·湿度敏感元器件的特性参数 | 第9-13页 |
| ·湿敏元件的研究状况 | 第13-19页 |
| ·元件的感湿机理 | 第19-26页 |
| ·烧结型半导体陶瓷湿敏器件的工作原理 | 第19-23页 |
| ·ZnCr_2O_4-LiZnVO_4玻璃-陶瓷感湿体的感湿机理 | 第23-26页 |
| ·成型工艺对湿敏元件的影响 | 第26-27页 |
| 第二章 元件的制作及性能测试 | 第27-36页 |
| ·研究工作 | 第27页 |
| ·样品制备 | 第27-32页 |
| ·玻璃相的制备 | 第27-28页 |
| ·晶相的制备 | 第28页 |
| ·ZnCr_2O_4-LiZnVO_4感湿体的制备 | 第28-29页 |
| ·电极制作 | 第29-30页 |
| ·元件的封装 | 第30-32页 |
| ·元件性能测试 | 第32-36页 |
| ·测试电路 | 第32-34页 |
| ·元件感湿性能的测试 | 第34-35页 |
| ·元件选择性的实验 | 第35页 |
| ·元件的长期稳定性实验 | 第35-36页 |
| 第三章 结果与分析 | 第36-53页 |
| ·样品感湿特性及配方的选取 | 第36-39页 |
| ·各种配方样品的感湿特性 | 第36-39页 |
| ·结果与分析 | 第39页 |
| ·感湿体配方的选取 | 第39页 |
| ·样品的特性参数 | 第39-42页 |
| ·元件的抗干扰性能 | 第42-44页 |
| ·样品的长期稳定性 | 第44-51页 |
| ·结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 学位论文独创性声明 | 第59页 |
| 学位论文知识产权权属声明 | 第59页 |