曲面激光直写光刻技术研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-16页 |
| ·微光学的发展 | 第7-8页 |
| ·微光学的光刻制造技术 | 第8-12页 |
| ·掩膜成像光刻制造技术 | 第9-11页 |
| ·无掩膜光刻技术 | 第11-12页 |
| ·国内外激光直写系统发展现状 | 第12-15页 |
| ·曲面激光直写系统研究的意义 | 第15页 |
| ·本论文的研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 极坐标激光直写系统 | 第16-24页 |
| ·激光直写设备 | 第16-19页 |
| ·激光直写写入设备的主要作用及性能要求 | 第16页 |
| ·激光直写结构原理 | 第16-19页 |
| ·激光直写子系统 | 第19-22页 |
| ·光功率强控制系统 | 第19页 |
| ·自动调焦控制系统 | 第19-20页 |
| ·X轴向平台运动系统 | 第20-21页 |
| ·转台系统 | 第21-22页 |
| ·激光直写系统的关键技术 | 第22-24页 |
| 第三章 二级驱动的微位移控制系统 | 第24-40页 |
| ·激光直写调焦系统原理 | 第24-25页 |
| ·二级驱动的大行程微位移系统 | 第25-26页 |
| ·PZT微动台执行机构 | 第26-33页 |
| ·压电元件特性 | 第27-29页 |
| ·PZT微动台的物理模型的建立与分析 | 第29-32页 |
| ·PID校正 | 第32-33页 |
| ·粗动工作台 | 第33-37页 |
| ·步进电机的工作原理 | 第34页 |
| ·粗动工作台结构以及驱动方式 | 第34-37页 |
| ·二级驱动系统的闭环控制方法 | 第37-40页 |
| 第四章 预搜索机制 | 第40-55页 |
| ·问题的提出 | 第40页 |
| ·离轴二象限探测线性区分析及搜索方法 | 第40-47页 |
| ·原理分析 | 第41-42页 |
| ·调焦线性区划分 | 第42-45页 |
| ·搜索方法 | 第45-47页 |
| ·针孔调焦法的预搜索 | 第47-55页 |
| ·原理分析 | 第48-51页 |
| ·对焦方式 | 第51页 |
| ·自动调焦搜索步长 | 第51-52页 |
| ·搜索方法 | 第52-55页 |
| 第五章 曲面探焦方法研究 | 第55-67页 |
| ·调焦方法技术概述 | 第55-57页 |
| ·离轴二象限探测法曲面调焦的可行性分析 | 第57-61页 |
| ·偏心光束法曲面探测 | 第61-63页 |
| ·准直小孔法曲面调焦的实现 | 第63-67页 |
| 第六章 曲面光刻技术研究 | 第67-75页 |
| ·激光直写工艺过程 | 第67-68页 |
| ·曲面光刻胶的涂布方法选择 | 第68-69页 |
| ·曲面上光刻涂胶过程分析及实验 | 第69-72页 |
| ·光轴和机械回转轴的对准 | 第72-73页 |
| ·实验结果 | 第73-75页 |
| 第七章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·总结 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 在攻读硕士学位期间所发表的相关论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
