| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-12页 |
| ·光子晶体简介 | 第6-9页 |
| ·光子晶体的实验制备 | 第9-11页 |
| ·课题介绍 | 第11-12页 |
| 第二章 实验设备的设计 | 第12-27页 |
| ·设备筹建思路 | 第12页 |
| ·设备结构 | 第12-13页 |
| ·设计原理 | 第13-16页 |
| ·技术实现 | 第16-21页 |
| ·设备参数 | 第21-27页 |
| 第三章 刻蚀机理的研究 | 第27-40页 |
| ·刻蚀方法概述 | 第27页 |
| ·化学辅助离子束刻蚀 | 第27-40页 |
| 第四章 刻蚀的简单模拟 | 第40-48页 |
| ·干法刻蚀模拟工具简介 | 第40页 |
| ·表面刻蚀模型 | 第40-43页 |
| ·计算机模拟 | 第43-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |