白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究
| 1 绪论 | 第1-8页 |
| ·本课题的研究背景 | 第6-7页 |
| ·主要任务 | 第7-8页 |
| 2 表面形貌测量方法及其原理 | 第8-14页 |
| ·触针法 | 第8页 |
| ·光切法 | 第8-9页 |
| ·光斑法 | 第9-10页 |
| ·光纤传感法 | 第10页 |
| ·显微干涉法 | 第10-11页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第11-12页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第12页 |
| ·原子力显微镜 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 3 显微干涉法测试原理以及干涉显微镜的发展现状 | 第14-26页 |
| ·双光路干涉显微镜和测试原理 | 第14-21页 |
| ·双光路干涉显微镜 | 第14-16页 |
| ·移相型显微干涉(PSMI)原理 | 第16-17页 |
| ·白光垂直扫描干涉(VSI)原理 | 第17-20页 |
| ·VSI和PSMI的组合原理 | 第20-21页 |
| ·干涉条纹频域分析(FDA)原理 | 第21页 |
| ·共光路干涉显微镜和测试原理 | 第21-24页 |
| ·双焦干涉显微镜及其测试原理 | 第21-23页 |
| ·微分干涉显微镜及其测试原理 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 4 白光显微干涉傅立叶频域分析(FDA)原理 | 第26-45页 |
| ·原理 | 第26-27页 |
| ·原理仿真 | 第27-41页 |
| ·仿真方法 | 第27-30页 |
| ·仿真方法的比较 | 第30-40页 |
| ·三维表面的仿真计算 | 第40-41页 |
| ·频域分析法误差分析 | 第41-44页 |
| ·PZT步进间隔标定误差分析 | 第42-43页 |
| ·PZT的非线性误差分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 实验数据的采集与处理 | 第45-61页 |
| ·实验装置 | 第45-46页 |
| ·压电陶瓷(PZT)步进间隔的标定 | 第46-51页 |
| ·压电陶瓷电压与伸长量关系的测量原理 | 第46-50页 |
| ·利用白光干涉计算PZT步进间隔 | 第50-51页 |
| ·实验数据的采集与处理 | 第51-60页 |
| ·PZT的标定 | 第51-55页 |
| ·三维表面的计算 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
