| 引言 | 第1-28页 |
| 第一章 常温下立方氮化硼薄膜的制备 | 第28-43页 |
| 第一节 常温下制备立方氮化硼薄膜的实验装置 | 第28-29页 |
| 第二节 高立方相含量的氮化硼薄膜 | 第29-32页 |
| 第三节 沉积参数对立方氮化硼薄膜生长的影响 | 第32-39页 |
| 第四节 立方氮化硼薄膜形成的物理化学机制 | 第39-43页 |
| 第二章 六方氮化硼向立方氮化硼的过渡结构 | 第43-48页 |
| 第一节 氮化硼的爆炸结构 | 第43-44页 |
| 第二节 六角氮化硼向立方氮化硼相变过程中爆炸结构的生成 | 第44-48页 |
| 第三章 CVD金刚石的纳米成核热力学研究 | 第48-61页 |
| 第一节 CVD中金刚石成核的热力学模型 | 第48-54页 |
| 第二节 CVD中金刚石成核的尺寸效应 | 第54-61页 |
| 第四章 PLIIR中金刚石的纳米成核热力学研究 | 第61-68页 |
| 第一节 PLIIR中金刚石成核的尺寸效应 | 第61-65页 |
| 第二节 PLIIR中石墨-金刚石转变几率 | 第65-68页 |
| 第五章 常温下RF-PEPLD制备c-BN薄膜的优势及金刚石纳米成核热力学理论的意义 | 第68-73页 |
| 第一节 常温下RF-PEPLD制备c-BN薄膜的优势 | 第68-69页 |
| 第二节 金刚石纳米成核热力学理论的意义 | 第69-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-76页 |
| 第一节 论文总结 | 第73-74页 |
| 第二节 工作展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 符号说明表 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间已公开发表的论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
