| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·EUVL微缩投影光学系统的发展状况 | 第11-12页 |
| ·EUVL微缩投影光学系统发展的要求 | 第12-13页 |
| ·典型EUVL微缩投影光学系统装调的概况 | 第13-14页 |
| ·美国四镜投影光学系统的装调 | 第13-14页 |
| ·日本三镜投影光学系统的装调 | 第14页 |
| ·本文的选题背景 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究内容及选题意义 | 第15-17页 |
| 第二章 EUVL Schwarzschild微缩投影光学系统的设计 | 第17-23页 |
| ·EUVL微缩投影光学系统的要求 | 第17-18页 |
| ·光学系统初始结构参数的确定 | 第18-20页 |
| ·系统的优化 | 第20-21页 |
| ·系统的装调公差分析 | 第21-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 精密装调的基本原理和EUVL投影光学系统装调方案 | 第23-37页 |
| ·精密装调数学模型的建立 | 第23-25页 |
| ·系统失调量的确定 | 第25-27页 |
| ·敏感矩阵 | 第25-26页 |
| ·敏感矩阵的奇异 | 第26页 |
| ·失调量的计算 | 第26-27页 |
| ·EUVL投影光学系统装调的关键步骤 | 第27-28页 |
| ·EUVL投影光学系统的装调方案 | 第28-29页 |
| ·EUVL投影光学系统的模拟装调 | 第29-36页 |
| ·系统调整自由度和补偿器选择 | 第29页 |
| ·敏感矩阵的计算 | 第29-32页 |
| ·敏感矩阵的奇异值分解和分析 | 第32-35页 |
| ·装调模拟 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第四章 光学元件面形的高精度检测 | 第37-47页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·波面高精度检测方法 | 第37-39页 |
| ·检测波面的数据处理 | 第39页 |
| ·Schwarzschild投影物镜球面镜的检测 | 第39-43页 |
| ·球面镜检测的误差分析 | 第43-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第五章 Schwarzschild投影物镜的装调实验与结果分析 | 第47-56页 |
| ·Schwarzschild投影光学系统的进一步分析 | 第47-48页 |
| ·敏感矩阵的计算和奇异值分解 | 第48-50页 |
| ·Schwarzschild投影光学系统的实际装调 | 第50-54页 |
| ·系统的粗装调 | 第50-51页 |
| ·Schwarzschild投影光学系统的精密装调 | 第51-54页 |
| ·离轴照明Schwarzschild投影光学系统的装调结果分析 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·本文的研究成果 | 第56-57页 |
| ·进一步研究工作的展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 作者简历 | 第62-63页 |
| 攻读硕士期间发表和已录用的学术论文 | 第63页 |
